光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究
发布时间：2021-03-23 02:24
投影光刻物镜是光刻机的核心部件。随着光刻技术的发展,对投影光刻物镜成像质量的要求也越来越高。系统波像差不但是评价投影光刻物镜成像质量的客观指标之一,也是后期精修和装调光刻物镜的依据。因此物镜系统波像差检测是提高光刻水平的核心技术之一。国外光刻物镜供应商均研发专用的系统波像差检测设备,但为了保持其技术优势,不可能向我国提供此类高精度的检测设备。光栅横向剪切干涉技术是最具发展潜力的投影物镜波像差检测技术,在此领域开展相关研究,对推动我国光刻机产业的发展具有重要意义。本文研究了光栅横向剪切干涉测量中抑制零级串扰的相移相位复原算法设计方法。由于光栅横向剪切干涉仪中不可避免的存在零级串扰,所设计的剪切干涉仪需要特别设计能够有效的抑制零级串扰误差的算法。针对这个问题提出了一种奇数步相移相位复原算法的设计方法,并根据零级串扰和相移误差的影响程度设计了A和B两类相位复原算法。A类算法包含四种相位复原算法,在保持对零级串扰误差相同抑制能力的同时,具有不同程度的抑制相移误差的能力。理论分析结果表明:四种算法的相位复原误差均与二倍复原相位的正弦成正比,同时四种算法的相位复原误差分别与相移误差的平方、四次方、...
【文章来源】：中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所)吉林省
【文章页数】：116 页
【学位级别】：博士
【部分图文】：
泰曼-格林干涉仪原理图
图 1.2 FISBA 公司的 FST 系列干涉仪e 1.2 The interferometer of FST series of FISBA companizeau)提出了菲索干涉仪，经过不断地发展，干涉测量设备[32-36]。国际上，菲索干涉仪的代表移干涉仪，如图 1.3 所示。在国内，南京英特
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究出了一系列不同口径的菲索型数字激光相移干涉仪。但相对于国外产品需进一步提高，尚未占领国内高端干涉仪的市场。菲索干涉仪测量光学差的原理如图 1.4 所示。通过针孔滤波的相干光被准直镜准直为平行光镜；一部分光经过参考镜，被高精度的参考面反射回分束镜形成参考光部分透过参考镜的光束通过待测系统后被反射回分束镜形成测试光束；参考光束和测试光束合为一束，进入成像系统成像在 CCD 探测器上发通过移动参考镜引入相移，获得相移干涉图序列；通过处理相移干涉图光学系统的波像差信息。相对于泰曼-格林干涉仪，菲索干涉仪由于采设计而不易受机械振动和空气扰动等环境误差的影响。但由于采用长相光源，需要采取特殊措施来降低相干噪声的影响。
【参考文献】：
期刊论文
[1]高精度干涉仪针孔空间滤波器研制[J]. 张春雷,向阳,于长淞. 中国光学. 2013(06)
[2]基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计[J]. 于长淞,齐克奇,张春雷,向阳. 电子测量与仪器学报. 2013(11)
[3]大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制[J]. 秦硕,巩岩,袁文全,杨怀江. 光学精密工程. 2013(01)
[4]基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法[J]. 杨济硕,李思坤,王向朝,闫观勇,徐东波. 光学学报. 2013(01)
[5]九步相移抗串扰算法的相移误差分析[J]. 方超. 长春理工大学学报(自然科学版). 2012(04)
[6]垂直集成——延长摩尔定律的有效途径[J]. 童志义,赵璋. 电子工业专用设备. 2012(01)
[7]国际主流光刻机研发的最新进展[J]. 袁琼雁,王向朝. 激光与光电子学进展. 2007(01)
[8]光学光刻的过去、现在和未来[J]. 董大为. 中国集成电路. 2004(07)
[9]Zemax软件在离轴三反射镜系统计算机辅助装调中的应用[J]. 杨晓飞,张晓辉,韩昌元. 光学精密工程. 2004(03)
[10]摩尔定律与半导体设备[J]. 翁寿松. 电子工业专用设备. 2002(04)
博士论文
[1]极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究[D]. 张宇.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2012
[2]超高精度菲索干涉仪不确定度分析[D]. 张健.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2011
本文编号：3094947
【文章来源】：中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所)吉林省
【文章页数】：116 页
【学位级别】：博士
【部分图文】：
泰曼-格林干涉仪原理图
图 1.2 FISBA 公司的 FST 系列干涉仪e 1.2 The interferometer of FST series of FISBA companizeau)提出了菲索干涉仪，经过不断地发展，干涉测量设备[32-36]。国际上，菲索干涉仪的代表移干涉仪，如图 1.3 所示。在国内，南京英特
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究出了一系列不同口径的菲索型数字激光相移干涉仪。但相对于国外产品需进一步提高，尚未占领国内高端干涉仪的市场。菲索干涉仪测量光学差的原理如图 1.4 所示。通过针孔滤波的相干光被准直镜准直为平行光镜；一部分光经过参考镜，被高精度的参考面反射回分束镜形成参考光部分透过参考镜的光束通过待测系统后被反射回分束镜形成测试光束；参考光束和测试光束合为一束，进入成像系统成像在 CCD 探测器上发通过移动参考镜引入相移，获得相移干涉图序列；通过处理相移干涉图光学系统的波像差信息。相对于泰曼-格林干涉仪，菲索干涉仪由于采设计而不易受机械振动和空气扰动等环境误差的影响。但由于采用长相光源，需要采取特殊措施来降低相干噪声的影响。
【参考文献】：
期刊论文
[1]高精度干涉仪针孔空间滤波器研制[J]. 张春雷,向阳,于长淞. 中国光学. 2013(06)
[2]基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计[J]. 于长淞,齐克奇,张春雷,向阳. 电子测量与仪器学报. 2013(11)
[3]大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制[J]. 秦硕,巩岩,袁文全,杨怀江. 光学精密工程. 2013(01)
[4]基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法[J]. 杨济硕,李思坤,王向朝,闫观勇,徐东波. 光学学报. 2013(01)
[5]九步相移抗串扰算法的相移误差分析[J]. 方超. 长春理工大学学报(自然科学版). 2012(04)
[6]垂直集成——延长摩尔定律的有效途径[J]. 童志义,赵璋. 电子工业专用设备. 2012(01)
[7]国际主流光刻机研发的最新进展[J]. 袁琼雁,王向朝. 激光与光电子学进展. 2007(01)
[8]光学光刻的过去、现在和未来[J]. 董大为. 中国集成电路. 2004(07)
[9]Zemax软件在离轴三反射镜系统计算机辅助装调中的应用[J]. 杨晓飞,张晓辉,韩昌元. 光学精密工程. 2004(03)
[10]摩尔定律与半导体设备[J]. 翁寿松. 电子工业专用设备. 2002(04)
博士论文
[1]极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究[D]. 张宇.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2012
[2]超高精度菲索干涉仪不确定度分析[D]. 张健.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2011
本文编号：3094947
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