激光诱导背向湿式刻蚀过程中工作液体的研究

发布时间：2021-04-08 21:31

　　为了使用低成本的红外光纤激光器对蓝宝石进行高效率高质量的加工,采用激光诱导背向湿式刻蚀方法进行了理论分析和实验验证,研制了一种新型的活性高且稳定性高的混合溶液,硫酸铜的质量浓度为28g/L、次磷酸钠的质量浓度为40g/L、氨水的质量浓度为45g/L、p H值为12。在相同的加工条件下,采用硫酸铜水溶液和混合溶液对蓝宝石进行切割。结果表明,蓝宝石在混合溶液中的切割效率高出硫酸铜水溶液中的5倍左右;采用混合溶液对蓝宝石进行成形切割,加工出了高质量的异形蓝宝石零件。此研究对提高低功率激光作用下蓝宝石的加工效率有一定的指导意义。 

【文章来源】：激光技术. 2020,44(01)北大核心CSCD

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
引言
1 实验
    1.1 实验设备与样品
    1.2 激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石的机理
    1.3 激光诱导光化学反应的机理过程
2 溶液的研制过程
    2.1 工作液体成分的确定
        2.1.1还原剂成分的确定
        2.1.2 络合剂成分的确定
    2.2 溶液中各成分质量浓度的确定
        2.2.1 p H值的确定
        2.2.2 还原剂质量浓度的确定
        2.2.3 硫酸铜质量浓度的确定
        2.2.4 氨水质量浓度的确定
3 结果与讨论
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究[J]. 梁德志,王敏,杜晨林,伍晓宇.  激光技术. 2017(02)
[2]红外脉冲激光诱导背面湿式刻蚀加工蓝宝石的工艺规律研究[J]. 谢小柱,车荣泓,魏昕,胡伟,任庆磊.  应用激光. 2015(02)
[3]以次磷酸钠为还原剂的化学镀铜[J]. 刘存海,霍小平,李亚龙.  电镀与环保. 2009(06)



本文编号：3126312