低电压驱动F-P腔可调谐滤波器的仿真和设计

发布时间：2021-04-23 11:06

　　利用COMOSL多物理场有限元软件,对无孔、圆形孔、正方形孔、菱形孔四种新型折叠梁形桥面结构Fabry-Perot（F-P）腔可调谐滤波器进行了电压-位移、应力和镜面平整度仿真,以优选最佳的桥面结构。结果显示,在相同驱动电压下,菱形孔桥面的位移最大。同时,桥面达到相同位移时,菱形孔桥面所需的驱动电压最小,并且菱形孔桥面的应力和平整度也能满足滤波器的设计要求。利用Essential Macleod软件对优选出的菱形孔桥面结构滤波器进行了滤波性能分析,结果表明,滤波器在3～5μm的光谱调谐范围内,具有良好的滤波效果,可以满足低电压驱动和宽调谐范围的要求。 

【文章来源】：半导体光电. 2020,41(02)北大核心

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
0 引言
1 基于MEMS技术的F-P腔可调谐滤波器结构
2 四种桥面结构的仿真
    2.1 电压-位移分析
    2.2 应力分析
    2.3 镜面平整度分析
3 优选的桥面结构的滤波分析
4 结论



本文编号：3155214