基于CMUT的超声波信号检测及放大电路设计

发布时间：2021-05-12 15:15

　　超声波信号检测及放大是搭建水下超声系统的基础,当微型电容式超声换能器（CMUT）处于接收状态时,电容值变化量为pF级,这对信号检测与放大电路设计提出了很高的要求。在进行了CMUT工作原理分析、C-V特性测试、电荷放大原理理论分析、仿真及实验后,所设计的电路灵敏度可达到2.5 V/pF,该电路性能优良,可集成度高,可推动CMUT的广泛应用。 

【文章来源】：仪表技术与传感器. 2020,(02)北大核心CSCD

【文章页数】：4 页

【文章目录】：
0 引言
1 电容式超声换能器(CMUT)
    1.1 CMUT工作原理
    1.2 C-V特性
2 信号检测及放大电路设计
    2.1 电荷放大电路工作原理分析
    2.2 基于CMUT的电荷放大电路设计
3 信号检测及放大电路仿真和实验
    3.1 电荷放大电路瞬态特性分析
    3.2 调试实验
4 结束语


【参考文献】：
期刊论文
[1]电容式微机械超声传感器的工艺综述[J]. 刘杰,陈全芳.  仪器仪表学报. 2018(08)
[2]电容式微超声波换能器的设计与电容值测试[J]. 贾利成,何常德,杜以恒,薛晨阳,张文栋.  应用声学. 2018(04)
[3]低噪声高增益锁相放大的微弱信号检测系统[J]. 王琦,蒋川东,杜海龙.  实验技术与管理. 2018(03)
[4]库尔勒香梨振动信号调理电路的设计与验证[J]. 高永茂,吴杰,徐虎博,赵正强,王志鹏.  石河子大学学报(自然科学版). 2015(04)
[5]微电容超声传感器的设计与测试[J]. 穆林枫,张文栋,何常德,张睿,宋金龙,薛晨阳.  仪表技术与传感器. 2015(08)
[6]压电式加速度传感器振动测量应用研究[J]. 曹丽曼.  自动化与仪器仪表. 2015(07)

硕士论文
[1]电容式微机械超声换能器（CMUT）设计及其封装技术研究[D]. 王朝杰.中北大学 2017
[2]电容式微加工超声传感器（CMUT）仿真与制造流程[D]. 官志坚.天津大学 2007



本文编号：3183642