一种基于K连通的AMC无线监测系统
发布时间:2021-05-18 14:17
针对目前半导体装备生产环境中的悬浮分子级污染物无线监测系统网络可靠性差、部署成本高,设计了一种基于K连通的AMC无线监测系统。基于Zig Bee网络,路由层应用了链路优化的K连通算法,构建了一拖多式的终端数据采集节点、低功耗路由节点和数据汇总分析平台。实验结果表明:该系统可以对AMC数据进行有效采集、存储和分析,优化的K连通网络,降低了网络丢包率和路由延迟,有助于提高网络的可靠性。该系统符合半导体装备生产环境中AMC的监测需求,网络节点的设计有助于降低系统部署成本,网络性能较优。
【文章来源】:兵器装备工程学报. 2020,41(10)北大核心
【文章页数】:6 页
【文章目录】:
1 AMC监测系统方案设计
1.1 系统硬件结构
1.1.1 一拖多式终端数据采集节点
1.1.2 低功耗路由节点
1.1.3 数据汇总平台
1.2 系统应用层调度机制
2 基于K连通的AMC监测网络路由算法
2.1 典型K连通路由算法分析
2.2 K连通路由算法优化
3 测试与分析
3.1 系统实用性测试与分析
3.2 K连通算法可靠性测试与分析
4 结论
【参考文献】:
期刊论文
[1]单晶硅晶片化学机械抛光基本特性研究[J]. 侯保江,安亚青,水涌涛,孙向春. 兵器装备工程学报. 2019(06)
[2]基于BQ24105的锂离子电池充电管理模块设计与实现[J]. 任勇峰,董琳琳,刘东海. 兵器装备工程学报. 2020(02)
[3]无线传感器节点信号线的电磁防护实验研究[J]. 江长建,陈雯柏,郝翠,兰少峰. 兵器装备工程学报. 2019(01)
[4]一种物联网系统层次型抗毁性拓扑构建方法[J]. 陈雯柏,崔晓丽,郝翠,王文凯. 北京邮电大学学报. 2018(05)
[5]AMC在洁净室中的监测与控制[J]. 胡亚南. 技术与市场. 2017(12)
[6]工业超洁净环境设计关键技术的研究[J]. 刘根,蒋澄灿,芮晓光,廖黎莉,芮延年. 机械设计与制造工程. 2016(11)
[7]洁净室AMC浅析[J]. 孙晟. 洁净与空调技术. 2015(02)
[8]障碍物对无线传感器网络信道影响试验[J]. 曹惠茹,苑俊英,郭中华,成海秀,王琳,罗沛. 传感技术学报. 2014(08)
[9]基于无线传感器网络的芯片生产环境监测系统[J]. 田勇,唐祯安,喻言. 传感技术学报. 2013(10)
硕士论文
[1]zigbee网络抗干扰技术的研究与实现[D]. 冉君军.西南科技大学 2018
[2]半导体代工厂洁净室的设计、监控和管理案例分析[D]. 周金锋.上海交通大学 2008
本文编号:3193938
【文章来源】:兵器装备工程学报. 2020,41(10)北大核心
【文章页数】:6 页
【文章目录】:
1 AMC监测系统方案设计
1.1 系统硬件结构
1.1.1 一拖多式终端数据采集节点
1.1.2 低功耗路由节点
1.1.3 数据汇总平台
1.2 系统应用层调度机制
2 基于K连通的AMC监测网络路由算法
2.1 典型K连通路由算法分析
2.2 K连通路由算法优化
3 测试与分析
3.1 系统实用性测试与分析
3.2 K连通算法可靠性测试与分析
4 结论
【参考文献】:
期刊论文
[1]单晶硅晶片化学机械抛光基本特性研究[J]. 侯保江,安亚青,水涌涛,孙向春. 兵器装备工程学报. 2019(06)
[2]基于BQ24105的锂离子电池充电管理模块设计与实现[J]. 任勇峰,董琳琳,刘东海. 兵器装备工程学报. 2020(02)
[3]无线传感器节点信号线的电磁防护实验研究[J]. 江长建,陈雯柏,郝翠,兰少峰. 兵器装备工程学报. 2019(01)
[4]一种物联网系统层次型抗毁性拓扑构建方法[J]. 陈雯柏,崔晓丽,郝翠,王文凯. 北京邮电大学学报. 2018(05)
[5]AMC在洁净室中的监测与控制[J]. 胡亚南. 技术与市场. 2017(12)
[6]工业超洁净环境设计关键技术的研究[J]. 刘根,蒋澄灿,芮晓光,廖黎莉,芮延年. 机械设计与制造工程. 2016(11)
[7]洁净室AMC浅析[J]. 孙晟. 洁净与空调技术. 2015(02)
[8]障碍物对无线传感器网络信道影响试验[J]. 曹惠茹,苑俊英,郭中华,成海秀,王琳,罗沛. 传感技术学报. 2014(08)
[9]基于无线传感器网络的芯片生产环境监测系统[J]. 田勇,唐祯安,喻言. 传感技术学报. 2013(10)
硕士论文
[1]zigbee网络抗干扰技术的研究与实现[D]. 冉君军.西南科技大学 2018
[2]半导体代工厂洁净室的设计、监控和管理案例分析[D]. 周金锋.上海交通大学 2008
本文编号:3193938
本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/dianzigongchenglunwen/3193938.html