5G通信6GHz以下频段FBAR滤波器镀膜关键技术研究

发布时间：2021-08-27 09:05

　　随着现代通信技术的快速发展,移动通信系统提出了更快的传输速率、更高的频谱利用率、更多的设备接入量和更低的时延等发展目标,对现有的各种元器件在性能上提出了更高的需求。其中,传统的声表面波滤波器由于自身结构的限制,工作频率较低,难以满足通信系统高频化的发展趋势,因此,人们开始研究新的滤波器解决方案。基于薄膜体声波谐振器（Thin Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR）的滤波器凭借Q值高、体积小、功耗低、可靠性好和稳定性强等优点逐渐受到了人们的重视和认可,并且由于制备工艺的兼容性强,FBAR滤波器在集成化方面还有巨大的潜力,因此成为了滤波器领域的研究热点。本文将对FBAR滤波器进行理论分析、构建模型并仿真,最后再通过实际制备对比理论分析作出优化。本文首先从压电效应出发,介绍了谐振器的基本结构。进一步基于谐振器引出了FBAR滤波器的基本结构和工作原理,并通过对比不同结构的优缺点分别确立了谐振器为空腔型结构,滤波器为阶梯型结构。然后基于FBAR谐振器的工作原理,结合电学和力学分析,得到了 FBAR谐振器的阻抗模型,并在阻抗模型的基础上推导出等效电路模型。进一步通过阻... 

【文章来源】：重庆邮电大学重庆市

【文章页数】：73 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

FBAR谐振器的三层基本结构

FBAR谐振器的三种主流结构

(c) 层叠型结构 (d) 耦合型结构图 2.3 FBAR 滤波器的四种结构在 FBAR 滤波器的四种组成结构中，阶梯型和网格型结构较为简单，都是利用电理，将谐振器以简单的电路连接方式组成滤波器，因此二者还可以结合使用；而二

【参考文献】：
期刊论文
[1]X波段FBAR用AlN薄膜制备研究[J]. 彭华东,徐阳,张永川,杜波,司美菊,蒋欣,赵明.  压电与声光. 2019(02)
[2]一种新型FBAR结构的设计[J]. 张浩,张志杰,翟宇鹏,程皓,吴永盛.  电子元件与材料. 2019(03)
[3]稀土元素Er掺杂AlN的压电性能[J]. 泰智薇,杨成韬,胡现伟,谢易微.  压电与声光. 2018(06)
[4]薄膜体声波谐振器调频工艺研究[J]. 彭兴文,徐阳,杜波,张永川,司美菊,刘娅,何西良,卢丹丹.  压电与声光. 2018(02)
[5]S波段温度补偿型FBAR窄带滤波器的研制[J]. 贾英茜,李丽,李宏军,高彦彦.  半导体技术. 2017(07)
[6]掺镁ZnO基薄膜体声波谐振器的制备和性能研究[J]. 卢学良,段力,刘一剑,汪军,张亚非.  压电与声光. 2017(01)
[7]AlN薄膜制备技术研究[J]. 金成飞,司美菊,徐阳,杜波,陈云祥.  压电与声光. 2016(04)
[8]干法刻蚀条件对Mo侧壁角度的影响[J]. 田本朗,徐阳,曹家强,杜波,马晋毅,米佳,冷俊林.  压电与声光. 2016(02)
[9]FBAR用氮化铝压电薄膜研究[J]. 陈运祥,董加和,司美菊,李洪平,赵雪梅,张永川,于新晓,刘善群.  压电与声光. 2015(06)
[10]5G愿景和需求[J]. 窦笠,孙震强,李艳芬.  电信技术. 2013(12)

博士论文
[1]薄膜体声波谐振器（FBAR）技术的若干问题研究[D]. 金浩.浙江大学 2006

硕士论文
[1]薄膜体声波谐振器结构分析与仿真[D]. 吴勇.电子科技大学 2007



本文编号：3366064