白光照明用YAG∶Ce荧光薄膜研究进展
发布时间:2021-09-23 01:38
YAG∶Ce荧光薄膜发光效率高、热稳定性好、散热快,在高功率高亮度白光照明,尤其是激光驱动白光照明(Laser-driven white lighting)领域具有广阔的应用前景。本文综述了近年来国内外YAG∶Ce多晶薄膜、单晶薄膜以及复合薄膜的制备技术及其性能特点,并展望了其在高性能白光LED和高功率激光驱动白光照明领域的应用前景。
【文章来源】:发光学报. 2020,41(11)北大核心EICSCD
【文章页数】:12 页
【部分图文】:
YAG∶Ce薄膜分别在空气和氮气气氛中退火后Ce 3d电子的XPS谱,开圆和闭圆分别为实验结果和拟合结果[32]。
赵昀云[33]采用磁控溅射沉积法制备YAG∶Ce薄膜,并研究了不同溅射功率对薄膜性能的影响。图8为不同溅射功率下所沉积薄膜在氩气气氛1 100 ℃烧结10 h后的XRD图谱。从图中可以看出,在低溅射功率条件下,薄膜的XRD衍射峰除了在22°左右出现石英基片的衍射峰外并没有出现别的衍射峰,说明低功率溅射所沉积的薄膜经退火后还是非晶态;溅射功率为250 W时出现了YAG相的衍射峰,且没有中间相出现;溅射功率为300 W时,YAG相衍射峰更强,表明大功率溅射有利于提高薄膜结晶度。这是因为在大功率溅射时,能量足够大可以使Y和Al同时脱离靶材,所沉积的薄膜有着更高的厚度且原子比更接近YAG晶体的Y/Al比0.6,在退火后可形成YAG纯相。Shao等[34]利用射频磁控溅射法在石英玻璃表面沉积了YAG∶Ce薄膜。 图9为YAG∶Ce薄膜在900,1 000,1 100 ℃三种不同退火温度处理后的光致激发和发射光谱。图9表明,激发光谱包括340 nm和460 nm两个峰,分别对应从4f能级到5d能级的跃迁。电子被激发到5d态后,弛豫到最低5d能级,然后从最低5d能级返回4f能级时发出黄光,其波长在540 nm左右。在图9中可以看到,随着退火温度的升高,薄膜的激发和发射强度增加。
Shao等[34]利用射频磁控溅射法在石英玻璃表面沉积了YAG∶Ce薄膜。 图9为YAG∶Ce薄膜在900,1 000,1 100 ℃三种不同退火温度处理后的光致激发和发射光谱。图9表明,激发光谱包括340 nm和460 nm两个峰,分别对应从4f能级到5d能级的跃迁。电子被激发到5d态后,弛豫到最低5d能级,然后从最低5d能级返回4f能级时发出黄光,其波长在540 nm左右。在图9中可以看到,随着退火温度的升高,薄膜的激发和发射强度增加。2.1.3 溶胶凝胶法
本文编号:3404769
【文章来源】:发光学报. 2020,41(11)北大核心EICSCD
【文章页数】:12 页
【部分图文】:
YAG∶Ce薄膜分别在空气和氮气气氛中退火后Ce 3d电子的XPS谱,开圆和闭圆分别为实验结果和拟合结果[32]。
赵昀云[33]采用磁控溅射沉积法制备YAG∶Ce薄膜,并研究了不同溅射功率对薄膜性能的影响。图8为不同溅射功率下所沉积薄膜在氩气气氛1 100 ℃烧结10 h后的XRD图谱。从图中可以看出,在低溅射功率条件下,薄膜的XRD衍射峰除了在22°左右出现石英基片的衍射峰外并没有出现别的衍射峰,说明低功率溅射所沉积的薄膜经退火后还是非晶态;溅射功率为250 W时出现了YAG相的衍射峰,且没有中间相出现;溅射功率为300 W时,YAG相衍射峰更强,表明大功率溅射有利于提高薄膜结晶度。这是因为在大功率溅射时,能量足够大可以使Y和Al同时脱离靶材,所沉积的薄膜有着更高的厚度且原子比更接近YAG晶体的Y/Al比0.6,在退火后可形成YAG纯相。Shao等[34]利用射频磁控溅射法在石英玻璃表面沉积了YAG∶Ce薄膜。 图9为YAG∶Ce薄膜在900,1 000,1 100 ℃三种不同退火温度处理后的光致激发和发射光谱。图9表明,激发光谱包括340 nm和460 nm两个峰,分别对应从4f能级到5d能级的跃迁。电子被激发到5d态后,弛豫到最低5d能级,然后从最低5d能级返回4f能级时发出黄光,其波长在540 nm左右。在图9中可以看到,随着退火温度的升高,薄膜的激发和发射强度增加。
Shao等[34]利用射频磁控溅射法在石英玻璃表面沉积了YAG∶Ce薄膜。 图9为YAG∶Ce薄膜在900,1 000,1 100 ℃三种不同退火温度处理后的光致激发和发射光谱。图9表明,激发光谱包括340 nm和460 nm两个峰,分别对应从4f能级到5d能级的跃迁。电子被激发到5d态后,弛豫到最低5d能级,然后从最低5d能级返回4f能级时发出黄光,其波长在540 nm左右。在图9中可以看到,随着退火温度的升高,薄膜的激发和发射强度增加。2.1.3 溶胶凝胶法
本文编号:3404769
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