16线集成窄脉冲半导体激光器模块的研制

发布时间：2021-11-10 09:54

　　为提高激光雷达系统的探测距离和空间探测精度,并减少其体积及成本,研制了一款16线集成窄脉冲半导体激光器模块,该模块主要包括高密度排列的激光器芯片、集成驱动电路及光电混合集成封装结构。采用三层发光纳米堆叠激光器芯片及高精度贴片工艺实现16线激光器贴装;采用结电容和开关损耗较小的新型GaN功率器件实现窄脉冲驱动电路;将激光器芯片与电路封装在同一管壳内,减小分布电感;采用能量压缩技术实现了16线单独可控,获得了高功率（70 W）、窄脉冲（6 ns）和低功耗（4 W）的优良性能。与传统采用分立式器件的激光雷达系统相比,该模块能够将系统探测距离和空间探测精度均提高将近50%。 

【文章来源】：半导体技术. 2020,45(09)北大核心

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
0 引言
1 整体设计
    1.1 激光器芯片制备及高密度排列设计
    1.2 集成驱动电路设计
    1.3 光电混合集成封装结构设计
2 测试结果
3 结论



本文编号：3487063