开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨
发布时间：2021-11-21 21:09
大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临的挑战进行了探讨,为开放式半导体微纳加工平台的建设和管理提供借鉴和参考。
【文章来源】：实验技术与管理. 2020,37(02)北大核心
【文章页数】：4 页
【部分图文】：
洁净室常用物资分类（2）质量要求高
王英，等：开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨231延伸到包括化学、生物、物理、材料等多个学科领域，这就对开放的微纳加工平台提出了挑战，我校微纳加工平台支持的各学科领域见图2。图2半导体微纳加工平台支持的各学科领域半导体微纳加工平台不仅要面对同一领域的不同用户需求，还要面对不同领域用户的科研需求，因此也对平台的研发能力提出了挑战。1.5人员特点（1）用户特点：进入平台实验室的人员具有组成复杂、人数较多的特点，半导体微纳加工平台历年新增用户的数量见图3。开放式平台要求用户参与度高，特别是对于微纳加工工艺，需要用户在工艺过程中全程参与，但由于半导体工艺对洁净度的要求较高，越多的人员进入，对实验室的洁净度越不利。有研究表明，颗粒物产生的来源主要包括人员、设备、工艺过程、物资、洁净室运行等，其中，人员是产生微尘的主要来源，约占总量的70%，因此控制进入洁净室人员的数量及加强进入洁净室人员的管理是平台正常运行管理的关键之一。图3半导体微纳加工平台历年新增用户数量（2）半导体微纳加工平台管理人员特点：平台管理人员专业化程度要求高，专业面要求广。由于半导体工艺的复杂性和前沿性，因此要求设备工艺管理人员有较强的专业性，不仅能够进行设备的基本操作和维护，同时还要具有科学精神，能够帮助用户分析在工艺中出现的问题。实验室管理人员需要熟悉洁净室、物资、设备、工艺、人员等方面的特点，了解实验室管理及安全方面的关键问题，从而能够综合判断和设计实验室及人员管理方案，使平台能够兼顾工艺开发和开放。2半导体微纳加工实验室开放平台管理模式的优化由于开放式半导体微纳加工实验室的特点既不同于相对封闭的企业式研发平台，也不
王英，等：开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨231延伸到包括化学、生物、物理、材料等多个学科领域，这就对开放的微纳加工平台提出了挑战，我校微纳加工平台支持的各学科领域见图2。图2半导体微纳加工平台支持的各学科领域半导体微纳加工平台不仅要面对同一领域的不同用户需求，还要面对不同领域用户的科研需求，因此也对平台的研发能力提出了挑战。1.5人员特点（1）用户特点：进入平台实验室的人员具有组成复杂、人数较多的特点，半导体微纳加工平台历年新增用户的数量见图3。开放式平台要求用户参与度高，特别是对于微纳加工工艺，需要用户在工艺过程中全程参与，但由于半导体工艺对洁净度的要求较高，越多的人员进入，对实验室的洁净度越不利。有研究表明，颗粒物产生的来源主要包括人员、设备、工艺过程、物资、洁净室运行等，其中，人员是产生微尘的主要来源，约占总量的70%，因此控制进入洁净室人员的数量及加强进入洁净室人员的管理是平台正常运行管理的关键之一。图3半导体微纳加工平台历年新增用户数量（2）半导体微纳加工平台管理人员特点：平台管理人员专业化程度要求高，专业面要求广。由于半导体工艺的复杂性和前沿性，因此要求设备工艺管理人员有较强的专业性，不仅能够进行设备的基本操作和维护，同时还要具有科学精神，能够帮助用户分析在工艺中出现的问题。实验室管理人员需要熟悉洁净室、物资、设备、工艺、人员等方面的特点，了解实验室管理及安全方面的关键问题，从而能够综合判断和设计实验室及人员管理方案，使平台能够兼顾工艺开发和开放。2半导体微纳加工实验室开放平台管理模式的优化由于开放式半导体微纳加工实验室的特点既不同于相对封闭的企业式研发平台，也不
【参考文献】：
期刊论文
[1]我国集成电路产业国际竞争力现状及提升策略[J]. 査贵勇. 产业创新研究. 2019(04)
[2]学科交叉型实验室的运行与管理[J]. 朴莹,唐建斌,刘祥瑞,周珠贤,段真,申有青. 实验技术与管理. 2019(01)
[3]开放高校科研实验室 培养学生创新实践能力[J]. 陆紫生,王如竹,柯霞,罗伟莉. 实验室研究与探索. 2018(09)
[4]强化实验室危险化学品管理的思考与实践[J]. 彭华松,刘闯,丁珍菊,谢亚萍,徐佰亮. 实验室研究与探索. 2018(08)
[5]“5S”法在高校实验室安全管理中应用[J]. 阳富强,宋雨泽,蔡逸伦. 实验室研究与探索. 2018(07)
[6]综合性大学优势学科群与大科研平台的协同发展[J]. 杨清华,许仪. 实验技术与管理. 2018(06)
[7]实验室效能最大化是建设一流学科的重要推手[J]. 赵红亮. 实验技术与管理. 2018(06)
[8]2018年中国集成电路产业融入全球半导体发展的展望[J]. 王龙兴. 集成电路应用. 2018(04)
[9]面向高校MEMS实验室的5S管理方法探索[J]. 张溪,刘军山,徐征,崔岩,陈莉,王天娆. 实验室科学. 2018(01)
[10]半导体器件研究生培养探索与实践[J]. 吴丽娟,雷冰,张银艳. 科教导刊(下旬). 2018(01)
本文编号：3510248
【文章来源】：实验技术与管理. 2020,37(02)北大核心
【文章页数】：4 页
【部分图文】：
洁净室常用物资分类（2）质量要求高
王英，等：开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨231延伸到包括化学、生物、物理、材料等多个学科领域，这就对开放的微纳加工平台提出了挑战，我校微纳加工平台支持的各学科领域见图2。图2半导体微纳加工平台支持的各学科领域半导体微纳加工平台不仅要面对同一领域的不同用户需求，还要面对不同领域用户的科研需求，因此也对平台的研发能力提出了挑战。1.5人员特点（1）用户特点：进入平台实验室的人员具有组成复杂、人数较多的特点，半导体微纳加工平台历年新增用户的数量见图3。开放式平台要求用户参与度高，特别是对于微纳加工工艺，需要用户在工艺过程中全程参与，但由于半导体工艺对洁净度的要求较高，越多的人员进入，对实验室的洁净度越不利。有研究表明，颗粒物产生的来源主要包括人员、设备、工艺过程、物资、洁净室运行等，其中，人员是产生微尘的主要来源，约占总量的70%，因此控制进入洁净室人员的数量及加强进入洁净室人员的管理是平台正常运行管理的关键之一。图3半导体微纳加工平台历年新增用户数量（2）半导体微纳加工平台管理人员特点：平台管理人员专业化程度要求高，专业面要求广。由于半导体工艺的复杂性和前沿性，因此要求设备工艺管理人员有较强的专业性，不仅能够进行设备的基本操作和维护，同时还要具有科学精神，能够帮助用户分析在工艺中出现的问题。实验室管理人员需要熟悉洁净室、物资、设备、工艺、人员等方面的特点，了解实验室管理及安全方面的关键问题，从而能够综合判断和设计实验室及人员管理方案，使平台能够兼顾工艺开发和开放。2半导体微纳加工实验室开放平台管理模式的优化由于开放式半导体微纳加工实验室的特点既不同于相对封闭的企业式研发平台，也不
王英，等：开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨231延伸到包括化学、生物、物理、材料等多个学科领域，这就对开放的微纳加工平台提出了挑战，我校微纳加工平台支持的各学科领域见图2。图2半导体微纳加工平台支持的各学科领域半导体微纳加工平台不仅要面对同一领域的不同用户需求，还要面对不同领域用户的科研需求，因此也对平台的研发能力提出了挑战。1.5人员特点（1）用户特点：进入平台实验室的人员具有组成复杂、人数较多的特点，半导体微纳加工平台历年新增用户的数量见图3。开放式平台要求用户参与度高，特别是对于微纳加工工艺，需要用户在工艺过程中全程参与，但由于半导体工艺对洁净度的要求较高，越多的人员进入，对实验室的洁净度越不利。有研究表明，颗粒物产生的来源主要包括人员、设备、工艺过程、物资、洁净室运行等，其中，人员是产生微尘的主要来源，约占总量的70%，因此控制进入洁净室人员的数量及加强进入洁净室人员的管理是平台正常运行管理的关键之一。图3半导体微纳加工平台历年新增用户数量（2）半导体微纳加工平台管理人员特点：平台管理人员专业化程度要求高，专业面要求广。由于半导体工艺的复杂性和前沿性，因此要求设备工艺管理人员有较强的专业性，不仅能够进行设备的基本操作和维护，同时还要具有科学精神，能够帮助用户分析在工艺中出现的问题。实验室管理人员需要熟悉洁净室、物资、设备、工艺、人员等方面的特点，了解实验室管理及安全方面的关键问题，从而能够综合判断和设计实验室及人员管理方案，使平台能够兼顾工艺开发和开放。2半导体微纳加工实验室开放平台管理模式的优化由于开放式半导体微纳加工实验室的特点既不同于相对封闭的企业式研发平台，也不
【参考文献】：
期刊论文
[1]我国集成电路产业国际竞争力现状及提升策略[J]. 査贵勇. 产业创新研究. 2019(04)
[2]学科交叉型实验室的运行与管理[J]. 朴莹,唐建斌,刘祥瑞,周珠贤,段真,申有青. 实验技术与管理. 2019(01)
[3]开放高校科研实验室 培养学生创新实践能力[J]. 陆紫生,王如竹,柯霞,罗伟莉. 实验室研究与探索. 2018(09)
[4]强化实验室危险化学品管理的思考与实践[J]. 彭华松,刘闯,丁珍菊,谢亚萍,徐佰亮. 实验室研究与探索. 2018(08)
[5]“5S”法在高校实验室安全管理中应用[J]. 阳富强,宋雨泽,蔡逸伦. 实验室研究与探索. 2018(07)
[6]综合性大学优势学科群与大科研平台的协同发展[J]. 杨清华,许仪. 实验技术与管理. 2018(06)
[7]实验室效能最大化是建设一流学科的重要推手[J]. 赵红亮. 实验技术与管理. 2018(06)
[8]2018年中国集成电路产业融入全球半导体发展的展望[J]. 王龙兴. 集成电路应用. 2018(04)
[9]面向高校MEMS实验室的5S管理方法探索[J]. 张溪,刘军山,徐征,崔岩,陈莉,王天娆. 实验室科学. 2018(01)
[10]半导体器件研究生培养探索与实践[J]. 吴丽娟,雷冰,张银艳. 科教导刊(下旬). 2018(01)
本文编号：3510248
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