不同晶面的氢终端单晶金刚石场效应晶体管特性

发布时间：2022-02-21 03:18

　　通过微波等离子体化学气相淀积技术生长单晶金刚石并切割得到（110）和（111）晶面金刚石片,以同批器件工艺制备两种晶面上栅长为6μm的氢终端单晶金刚石场效应管,从材料和器件特性两方面对两种晶面金刚石进行对比分析.（110）面和（111）面金刚石的表面形貌在氢终端处理后显著不同,光学性质则彼此相似.VGS=–4 V时,（111）金刚石器件获得的最大饱和电流为80.41 m A/mm,约为（110）金刚石器件的1.4倍;其导通电阻为48.51 W·mm,只有（110）金刚石器件导通电阻的67%.通过对器件电容-电压特性曲线的分析得到,（111）金刚石器件沟道中最大载流子密度与（110）金刚石器件差异不大.分析认为,（111）金刚石器件获得更高饱和电流和更低导通电阻,应归因于较低的方阻. 

【文章来源】：物理学报. 2020,69(02)北大核心EISCICSCD

【文章页数】：8 页

【参考文献】：
期刊论文
[1]单晶金刚石氢终端场效应晶体管特性[J]. 任泽阳,张金风,张进成,许晟瑞,张春福,全汝岱,郝跃.  物理学报. 2017(20)
[2]高温高压下氮氢协同掺杂对{100}晶面生长宝石级金刚石的影响[J]. 房超,贾晓鹏,颜丙敏,陈宁,李亚东,陈良超,郭龙锁,马红安.  物理学报. 2015(22)



本文编号：3636391