功率MOSFET器件分层失效检测技术与失效机理研究

发布时间：2023-03-19 23:04

　　近年来,随着我国经济的持续快速发展,对节能环保的要求、低碳生活的要求变得日趋重要,人们对能量转化与应用的管理需求日益增加。在功率转换方面,对功率MOSFET的需求也在逐渐增加。而在功率MOSFET的应用中,器件可靠性愈发重要,这决定了整个应用系统的稳定性。目前,功率MOSFET封装中的分层问题受到关注,成为一个研究热点,本文将对功率器件分层失效和检测问题进行研究。首先,本文对功率器件的发展进行了简单分析。介绍了功率器件的分类和性能特点,并对第三代宽禁带半导体发展进行了简要分析。然后对功率MOSFET的封装进行了简介,接着对功率MOSFET的分层失效进行了介绍,并分析了功率MOSFET分层的国内外研究现状。其次,分析了器件的分层,包括分层的定义、起因和危害。通过国内外对分层的判定标准,分析了分层检测的重要性。随后对分层常用的检测手段超声波扫描显微检测技术进行介绍,以便对后续的结果进行分析与研究。再次,研究了分层的失效问题。分析了塑封料与引线框架的分层失效,并研究了分层面积对器件电性能和热性能的影响因素。结果表明,分层面积越大,器件的结温越高,热阻越大。分析了芯片与引线粘结层的分层失效,芯...

【文章页数】：74 页

【学位级别】：硕士

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摘要
ABSTRACT
符号对照表
缩略语对照表
第一章 绪论
    1.1 功率器件的简介
        1.1.1 功率器件的发展
        1.1.2 功率器件的封装
        1.1.3 功率器件的分层失效
    1.2 国内外分层失效的研究进展
    1.3 本文研究内容
第二章 功率器件分层的研究
    2.1 分层的定义、起因和危害
    2.2 分层的判定标准
    2.3 本章小结
第三章 分层检测技术简介
    3.1 超声波扫描显微检测原理
    3.2 超声波扫描检测的模式
    3.3 超声波扫描显微检测设备的介绍
    3.4 本章小结
第四章 分层失效的研究
    4.1 试验样品
    4.2 塑封料与引线框架的分层
        4.2.1 分层问题的分析
        4.2.2 分层面积对器件电性能和热性能的影响
    4.3 芯片与引线框架粘结层的分层
        4.3.1 分层问题的分析
        4.3.2 分层对器件电性能和热性能的影响
    4.4 本章小结
第五章 分层检测影响因素的分析
    5.1 频率探头的影响
    5.2 扫描增益的影响
    5.3 表面能量补偿的影响
    5.4 样品进入时间的影响
    5.5 本章小结
第六章 总结
参考文献
致谢
作者简介



本文编号：3766169