Ag/BaTiO 3 薄膜的激光刻蚀电极图案制备及性能研究

发布时间：2023-03-24 21:48

　　采用激光刻蚀实现了BaTiO₃薄膜上溅射Ag金属薄膜电极的图案化,并对激光刻蚀功率、激光刻蚀线间距以及点间距对图案微槽深度、刻蚀边缘整齐度和对底层BaTiO₃的影响进行了研究。结果表明,图案刻蚀边缘整齐度随刻蚀功率先增大后减小,激光刻蚀功率为12 W时达到最优值,薄膜电极图案随刻蚀线间距以及点间距减小而刻蚀更加充分,在刻蚀线间距以及点间距达到0.03mm时可以获得具有理想刻蚀精度的图案,且对BaTiO₃薄膜未造成损伤,为MLCC等薄膜电容器的低成本快速制备提供了一种新的思路。

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
0 引言
1 实验材料、设备及方法
2 结果与分析
    2.1 激光刻蚀功率的影响
    2.2 激光刻蚀次数的影响
    2.3 激光刻蚀线间距以及点间距的影响
    2.4 分析
3 结论



本文编号：3769910