柔性MEMS流速传感器的测控电路设计与实验

发布时间：2023-12-27 19:28

　　针对MEMS流速传感器量程小及无法应用于曲面的不足,设计制造了一种柔性MEMS流速传感器,其结构主要包含加热电阻和3对测温热电阻,同时结合热损失和热温差工作原理来实现宽量程的流速测量。设计了带温度补偿的双惠斯登电桥测控电路,利用STM32微处理器ADC模块对多路流速测量结果进行采样。测试实验实现了0～32 m/s的输入风速测量,其中在1 m/s以下的低风速段内传感器具有100 m V/(m·s^-1)的较高灵敏度,在风速(1～7 m/s)和(7～32 m/s)下的灵敏度分别为83.1 m V/(m·s^-1)和28.3 m V/(m·s^-1)。该柔性MEMS流速传感器可贴于曲面应用,测量范围大、精度高。

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【文章目录】：
0 引言
1 宽量程柔性流速传感器的结构
2 柔性流速传感器的测控电路设计
    2.1 带温度补偿的测控电路设计
    2.2 传感器的多路数字输出电路系统
3 柔性流速传感器的测速实验及结果分析
    3.1 风速测量实验
    3.2 实验结果及分析
4 结束语



本文编号：3875759