太赫兹矩形波导微腔体电化学加工技术

发布时间：2024-12-02 21:34

　　太赫兹波具有高穿透性、低能性、高信噪比、相干性以及宽带性等特性,在医药学、生命科学、天文学、移动通讯、军事领域以及安全检测等很多方面具有非常好的应用价值,而太赫兹波导管是传输太赫兹波的重要元器件。传统加工矩形波导腔体的方法主要有微细铣削、多层金属堆叠、光刻等,但这些方法很难实现尺寸更加微细,精度要求更高的腔体的加工。微细电解加工可以实现离子级别的材料去除,因此可以制备尺寸精度以及表面粗糙度非常高的芯模;微细电镀/电铸技术具备非常高的复制精度,可以完全复制芯模形状及其形貌。针对太赫兹矩形波导微腔体尺寸微细、表面粗糙度要求高的特点,本文采用微细电化学加工技术进行波导腔体的制备,主要研究内容如下:(1)探索了在微细镍芯模表面电镀金工艺,研究了电流密度、阴阳极间距、电镀温度以及阴极转速对电镀金层表面形貌、表面粗糙度、镀层均匀性以及镀层显微硬度的影响;(2)探索了在电镀金层表面电铸铜工艺,研究了电铸液配方及电流密度对铸铜层表面形貌、表面粗糙度以及显微硬度的影响;(3)研究了不同条件下镍、铜在蚀刻剂TFG中的溶解效果,采用优化的工艺条件对波导腔体进行选择性溶解研究。研究发现,在开放式的环境中,不施加...

【文章页数】：91 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1.1金属平板波导传输图

图1.1金属平板波导传输图图1.2金属平板波导与THz-TDS相结合系统图1.1.2.2太赫兹金属线波导金属线波导的结构相对简单，制造也相对容易，且能减少太赫兹波在传输中的损耗。2004年，Kanglin.Wang和Daniel.M使用直径0.9mm-6m....

图1.2金属平板波导与THz-TDS相结合系统图

太赫兹矩形波导微腔体电化学加工技术.1太赫兹金属平板波导001年，R.Mendis和D.Grischkowsky成功研发了金属平板波导[11]，该波导采用金属厚24mm的金属铜板制得，两块板平面间隔108μm。在0.1-4THz的带宽范围里，观测到0.兹波在....

图1.3太赫兹内窥镜

图1.3太赫兹内窥镜1.1.2.3太赫兹光子晶体波导近来，越来越多的研究人员探索将光子晶体运用到太赫兹利通过光子晶体，并且传输过程中几乎没有损耗。目前，一已经出现。2004年，Nemec.H等人通过一维光子晶体研发了19]，其相对可调性达到20%。典型的可用来传输太....

图1.4径向对称光导天线

图1.3太赫兹内窥镜1.1.2.3太赫兹光子晶体波导近来，越来越多的研究人员探索将光子晶体运用到太赫兹利通过光子晶体，并且传输过程中几乎没有损耗。目前，一已经出现。2004年，Nemec.H等人通过一维光子晶体研发了19]，其相对可调性达到20%。典型的可用来传输太....

本文编号：4013942