化学机械平坦化材料对蓝宝石抛光速率与粗糙度的影响

发布时间：2017-06-03 02:04

  本文关键词：化学机械平坦化材料对蓝宝石抛光速率与粗糙度的影响，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：采用自主研制的新型碱性蓝宝石抛光液,在蓝宝石化学机械平坦化过程中加入FA/O型非离子表面活性剂,该活性剂能够减小蓝宝石表面粗糙度,同时,在蓝宝石抛光速率下降不明显的情况下实现较高的凹凸去除速率差,有利于实现蓝宝石的全局平坦化。通过实验得到了碱性条件下抛光速率较高、粗糙度较小的最佳pH值。研究了等质量分数等粒径条件下磨料分散度以及抛光温度对抛光速率和蓝宝石表面粗糙度的影响。
【作者单位】： 河北工业大学微电子技术与材料研究所;
【关键词】： 蓝宝石 CMP 活性剂 分散度 温度
【基金】：国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目(2009ZX02308)
【分类号】：TN305.2
【正文快照】： 0引言蓝宝石具有很多为人熟知的特性,例如硬度高、耐磨损、耐高温、抗腐蚀、良好的电气规范和光传输特性。因为蓝宝石具有与Ⅲ族氮化物相同的六方密堆积结构且晶向生长技术优良[1],所以,蓝宝石主要用作第三代半导体材料GaN的衬底,在微电子工业以及光电技术领域也有广泛的应用[

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本文编号：417002