锗衬底表面圆柱形仿生蛾眼抗反射微结构的研制

发布时间：2017-06-03 23:02

  本文关键词：锗衬底表面圆柱形仿生蛾眼抗反射微结构的研制，，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：采用严格耦合波分析方法研究了长波红外波段锗基底的圆柱形周期阵列仿生蛾眼抗反射微结构的衍射特性,并进行理论分析和模拟仿真验证。重点分析了周期、深度、占空比和整体面型轮廓等参数对微结构抗反射特性的影响,得出具有较好抗反射效果的结构组合参数。采用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在锗基底上制备该亚波长周期微结构。通过热场发射扫描电子显微镜对微结构表面形貌进行表征,并应用红外成像光谱仪在长波红外波段分别对双面抛光锗片、单面微结构和双面微结构进行测试对比,结果显示在8~12μm范围内双面微结构的反射率小于8%,基本达到设计要求。
【作者单位】： 长春理工大学光电工程学院;华中光电技术研究所武汉光电国家实验室;
【关键词】： 光学设计 抗反射结构 亚波长微结构 严格耦合波分析 反应离子刻蚀技术
【基金】：国家自然科学基金(61108044) 吉林省自然科研基金(20150101038JC)
【分类号】：TN304.11
【正文快照】： 1引言锗是一种重要的半导体材料,用于制造晶体管及各种电子装置。锗的主要终端应用为光纤系统与红外0522004-1线光学,尤其是红外热成像系统中窗口和透镜,也用于聚合反应的催化剂,以及电子用途与太阳能电力等[1-4]。由于单晶锗的折射率(n=4.01)较大,导致其表面反射损失在37%以

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