缓冲层和保护层提高激光增透膜损伤阈值

发布时间：2017-06-06 08:16

  本文关键词：缓冲层和保护层提高激光增透膜损伤阈值，，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：为提高离子束溅射制备1 064 nm、532 nm双波长增透膜抗激光损伤阈值,分别在靠近基板、空气侧加镀一定厚度二氧化硅膜层,研究缓冲层、保护层对增透膜抗激光损伤阈值的影响。依据ISO21254-2损伤测试标准,测试不同膜系结构增透膜抗1 064 nm波长激光损伤阈值。实验结果表明,二氧化硅缓冲层提高增透膜抗激光损伤阈值约65.4%;二氧化硅保护层提高增透膜抗激光损伤阈值约66.7%;同时加镀缓冲层、保护层增透膜抗激光损伤阈值显著提高约119%。
【作者单位】： 中国科学院光电技术研究所;中国科学院大学;
【关键词】： 缓冲层 保护层 激光增透膜 损伤阈值
【分类号】：TN249
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本文编号：425828