FBAR振荡器作为六端口反射计射频源的BAW传感器读出电路

发布时间：2017-06-08 20:07

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【摘要】：为解决由于FBAR的谐振频率处于射频频段,导致BAW传感器读出电路难以实现的问题,将FBAR振荡器作为六端口反射计射频源,以检测FBAR谐振频率,从而实现BAW传感器信号读出的新型读出电路。在ADS软件中,通过建立FBAR的MBVD模型并采用Pierce拓扑结构实现FBAR振荡器的仿真模型,以及建立六端口反射计的仿真模型,并结合两个仿真模型建立BAW传感器的最小系统模型。BAW传感器最小系统模型的仿真结果表明:由FBAR振荡器和六端口反射计实现BAW传感器读出电路的可行性。为实验验证该结构,搭建一个基于微带六端口网络实物的六端口反射计实验装置,准确地测得1个案例FBAR振荡器的振荡频率为1.5 GHz,该振荡频率就是传感器表头中FBAR的谐振频率。
【作者单位】： 中国工程物理研究院电子工程研究所;中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室;西南科技大学信息工程学院;重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室;
【关键词】： 体声波传感器 读出电路 薄膜体声波谐振器 振荡器 六端口反射计
【基金】：国家自然科学基金(61574131) 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金(2014ZA001) 核探测与核电子学国家重点实验开放课题基金(2016KF02) 西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金(14zxtk01)
【分类号】：TN752;TP212
【正文快照】： 3.重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆400044;4.中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室,北京100049)0引言体声波(bulk acoustic wave,BAW)传感器是由薄膜体声波谐振器(thin-film bulk acoustic resonator,FBAR)的谐振频率感应待测物理

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前1条

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【共引文献】

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本文编号：433600