多功能有源激光微调机的系统设计

发布时间：2017-07-01 05:06

  本文关键词：多功能有源激光微调机的系统设计，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：针对厚膜混合集成电路的功能微调需求,设计了一种多功能有源激光微调机。通过在线测量不同的产品参数,可实现多功能激光微调,其中包括输出电压修调,保护电流修调和信号电路调整(调测占空比、频率和相位)。本文重点介绍了多功能有源激光微调机的控制系统,通过分析测量步长和减速精度对修调精度和修调效率的影响,进而提出了自动修调方法中兼顾精度和效率的参数设置方法。多功能有源激光微调机很好地满足了国内厚膜混合集成电路功能微调需求。
【作者单位】： 北京奥依特科技有限责任公司;华北光电技术研究所;
【关键词】： 有源激光微调机 控制系统 参数设置 厚膜混合集成电路
【分类号】：TN452;TH744.5
【正文快照】： 1引言厚膜混合集成电路在微电子技术中占有重要地位,随着厚膜混合集成电路集成度越来越高,密度变大,尺寸变小,电阻修调的要求不断提高,而高精度、高可靠性的激光修调方法变得越来越重要,研发出功能强大的激光修调设备已经十分迫切[1-2]。激光修调根据应用方式可分为无源修调和

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本文编号：504637