电子调制的激光相干法表面轮廓测量技术研究

发布时间：2017-07-01 11:09

  本文关键词：电子调制的激光相干法表面轮廓测量技术研究，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：表面轮廓的测量可以评定零件表面的光滑程度,为了实现高精度测量,提出了应用电子直接调制激光束的频率和外差相干的方法对表面轮廓进行测量。采用差动多普勒的测量原理,实现数字测量及光路补偿;电子直接调制激光束频率的技术减小了系统体积,降低了成本;光纤传输提高了抗干扰的能力;测量信号的跟踪放大,提高了分辨率。通过电路调试并对产生误差的项进行分析补偿。实验表明,该技术的测量不确定度小于0.1%。
【作者单位】： 山东理工大学仪器科学与技术系;
【关键词】： 测量 激光技术 直接调制 外差相干法 表面轮廓
【分类号】：TN249
【正文快照】： 1引言零件的表面轮廓是加工过程中多种因素共同作用产生的结果[1]。传统测量表面轮廓的主要方法有比较法、触针法、光切法等[2]。这些方法存在着诸多缺点,如效率低、精度低以及适用性差等。随着科学技术的发展,具有共焦成像和干涉测量技术的三维轮廓测量仪开始应用于生产,如日

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 友清;以激光检测绘制材料的表面轮廓[J];激光与光电子学进展;2000年05期

2 淦r，

本文编号：505676