透射电子显微镜图像自动聚焦技术研究

发布时间：2017-07-05 08:20

  本文关键词：透射电子显微镜图像自动聚焦技术研究

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【摘要】：针对目前透射电子显微镜应用中,普遍以肉眼判断、手工聚焦的方式,存在聚焦质量欠佳、受人员因素干扰大、工作效率低等问题,通过对比分析常规自动聚焦方法,提出基于Canny算子的自动聚焦方法。与目前广泛应用的傅立叶变换法对比,其具有速度快、精度高、适合搜索的特点。
【作者单位】： 东北大学新材料技术研究院;
【关键词】： 聚焦评价函数 canny算子 聚焦搜索 DM Scripting 透射电子显微镜
【基金】：沈阳市科技计划项目(F15-199-1-02);沈阳市科技计划项目(F14-231-1-04)
【分类号】：TN16
【正文快照】： 0引言 1 9 3 2年R u s k a发明了以电子束为光源的透射电子显微镜(T E M),使人类观察微小物质的能力发生了质的飞跃。T E M是波长极短的电子束经过电磁透镜进行聚焦后穿透样品成像,显微镜的分辨率受其使用的波长的限制,因此电子显微镜的理论分辨率(约0.1n m)远高于光学显微镜

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本文编号：521193