多晶硅CVD反应器中新型热管的开发与仿真

发布时间：2017-07-08 03:09

  本文关键词：多晶硅CVD反应器中新型热管的开发与仿真

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【摘要】：基于已有的新型多晶硅CVD反应器,设计出有利于获得理想速度场和温度场的特殊热管结构,并对其进行了有限元强度分析和结构改进。对不同壁面发射率和不同壁面温度的热管进行了CFD仿真,计算得出:随着热管壁面温度的升高,多晶硅还原炉内环境温度也随之升高,但是多晶硅棒的总能耗与辐射能耗却随之降低;壁面温度从423 K上升至623 K时,硅棒总能耗和辐射能耗分别下降了2.84%和3.87%;随着发射率的降低,多晶硅还原炉内的环境温度、硅棒总能耗和辐射能耗都呈现下降趋势;硅棒的总能耗和辐射能耗分别下降了21.75%和24.42%。
【作者单位】： 天津大学化工学院;
【关键词】： 多晶硅 CVD反应器 热管 有限元 CFD
【基金】：天津市自然科学基金资助项目(13JCZDJC27200)
【分类号】：TN304.05;TP391.9
【正文快照】： 0引言随着电子信息和半导体产业迅速发展,工业上对高纯的区熔级多晶硅需求量大大增加。然而由传统西门子法还原得到的多晶硅大部分只能达到太阳能级,只有少量能够到达电子级多晶硅的纯度要求;而硅烷法作为第二大多晶硅生产工艺,不仅能够有效保证生成硅单质的纯度,其650~800℃

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本文编号：532807