用于激光防护非逆向反射双层闪耀光栅的研究

发布时间：2017-07-14 07:07

  本文关键词：用于激光防护非逆向反射双层闪耀光栅的研究

  更多相关文章： 激光防护 非逆反射 双层闪耀光栅 反应离子刻蚀(RIE)

【摘要】：提出一种用于激光(工作波长为1 064nm)防护的非逆反射双层闪耀光栅。以光栅方程、闪耀波长和闪耀角关系公式为基础,研究了双层闪耀光栅光线分布特性,分析了上下微结构闪耀角度关系;设计了双层闪耀光栅各特性参数,其上、下层光栅闪耀角分别为50°和6°,周期均为5.2μm,光学元件厚为0.5mm,在下表面镀Ag反射膜。采用反应离子刻蚀(RIE)技术制作双层闪耀光栅,通过轮廓仪进行测试。研究结果表明,双层闪耀光栅的光学特性受微结构形状误差影响较大,当光线垂直照射双层闪耀光栅时,出射光与入射光形成20°夹角,实现了激光非逆反射的目的。
【作者单位】： 长春理工大学光电学院;
【关键词】： 激光防护 非逆反射 双层闪耀光栅 反应离子刻蚀(RIE)
【基金】：国家自然科学基金(11474037)资助项目
【分类号】：TN249
【正文快照】： 1引言激光技术被广泛应用于工业、医疗、商业、信息和军事等领域[1~3],对激光损伤防护和目标自我保护一直受到关注。例如运用激光探测设备探测搜索目标等[4],为了提高目标的生存能力,必须努力减小目标激光反射回波能量以降低激光探测设备探测目标的能力,主要采用涂敷吸波涂料

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 张耀举;用闪耀光栅获得并聚焦偏振光[J];激光杂志;2003年01期

2 周慧君,王取泉;闪耀光栅的二元近似结构[J];光学与光电技术;2005年03期

3 骆琳;贾友见;;利用二元光学进行闪耀光栅的设计[J];光机电信息;2009年09期

4 赵华君;吴强;任晓霞;;高效全偏振矩形闪耀光栅的设计(英文)[J];光子学报;2014年01期

5 张翠玉;黄子强;;二元光学液晶闪耀光栅的特性分析[J];光学学报;2008年07期

6 赵华君;袁代蓉;;高损伤阈值矩形石英闪耀光栅的设计分析[J];强激光与粒子束;2011年01期

7 虞益挺;苑伟政;燕斌;李太平;姜澄宇;;一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用[J];科学通报;2009年19期

8 盛斌;徐向东;刘颖;洪义麟;付绍军;;真空紫外硅闪耀光栅的制作[J];光学精密工程;2010年01期

9 樊叔维;周庆华;;闪耀光栅的衍射特性研究[J];激光技术;2010年01期

10 王东辉;刘林;李秉实;包艳;郑普超;张兵;张超;;适用于宽带光的闪耀光栅衍射强度分布规律研究[J];应用光学;2013年04期

中国重要会议论文全文数据库 前4条

1 刘全;吴建宏;裘云飞;方玲玲;陈刚;;全息-离子束微细加工闪耀光栅研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年

2 陶卫;浦昭邦;万松;;反射式闪耀光栅楔形平板用于转角测量[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（上）[C];2001年

3 吴建宏;刘全;陈明辉;;双闪耀光栅刻蚀技术研究[A];第十届全国光电技术学术交流会论文集[C];2012年

4 任瑞;周海;师智全;吴健;林东晖;陈良民;;超短脉冲压缩用相位型反射光栅的矩阵表达式推导[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 盛斌;利用天然氧化层掩模的真空紫外硅闪耀光栅的湿法刻蚀制作[D];中国科学技术大学;2009年

中国硕士学位论文全文数据库 前4条

1 汪海宾;凸面闪耀光栅的设计及其制作[D];苏州大学;2010年

2 陈明辉;同质掩模法制作闪耀光栅研究[D];苏州大学;2012年

3 蒋红;硅基微纳二元闪耀光栅垂直耦合器研究[D];华中科技大学;2011年

4 龙飞;无惯性光束扫描控制技术研究[D];厦门大学;2008年

，

本文编号：540088