晶硅表面亚微米结构阵列的介电微球辅助激光-化学复合成型

发布时间：2017-07-16 01:14

  本文关键词：晶硅表面亚微米结构阵列的介电微球辅助激光-化学复合成型

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【摘要】：介绍了一种具有高工艺可控性特征的单晶硅表面亚微米结构阵列介电微球辅助激光-化学复合成型的方法,采用这种方法可以在单晶硅表面制备具有较好周期性和均一性的三维微结构阵列。分析并总结了微球直径、刻蚀时间及激光脉冲能量密度对结构成型的影响规律,根据时域有限差分模拟法和晶硅结晶及其化学刻蚀的基础理论,分析研究了微结构的成型机制,并以样品表面反射率为例,验证了利用不同工艺所制备出的微米结构阵列对其表面光学性能的调控作用。
【作者单位】： 北京工业大学激光工程研究院;
【关键词】： 激光技术 介电微球 准分子激光 单晶硅 碱刻蚀 微结构阵列
【基金】：国家自然科学基金(51575013,51275011) 北京市教育委员会科技计划(KZ201310005005)
【分类号】：TN249;TN304.12
【正文快照】： 1引言作为一种重要的半导体材料,单晶硅被广泛应用于微/纳机电系统(MEMS/NEMS)及太阳能电池等电子和能源领域。通过对单晶硅表面微纳结构的制备可以有效调控其功能性质以满足应用需求[1-3]。传统制备方法是湿刻法,即利用化学溶剂对其表面进行刻蚀而获得分布和维度随机的金字塔

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本文编号：546528