微纳加工技术的优势及其在电子器件领域中的应用研究

发布时间：2017-07-16 15:30

  本文关键词：微纳加工技术的优势及其在电子器件领域中的应用研究

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【摘要】：微纳加工技术在集成电路技术的应用中占据着重要的地位,为了满足相关工业领域的要求,需要寻找出新透镜、短光源、高精度的加工技术,而微纳加工技术就是其中的首选。本文主要针对微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用进行分析。
【作者单位】： 湖南省长沙市长郡中学;
【关键词】： 微纳加工技术 优势 电子器件领域 应用
【分类号】：TN405
【正文快照】： 微纳加工技术的出现使得集成电路的体积逐渐减小,集成度也越来越高,目前,应用最广泛的微纳加工技术是光学光刻技术,但它的替代技术也有许多,如电子束曝光、极紫外光刻等等。长期以来,曝光技术都是影响半导体制造工业发展的一项核心技术,作为半导体指导技术的核心,曝光技术是制

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本文编号：549387