脉冲光纤激光控制断裂切割超薄钛酸锶陶瓷基片

发布时间：2017-07-17 06:00

  本文关键词：脉冲光纤激光控制断裂切割超薄钛酸锶陶瓷基片

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【摘要】：钛酸锶陶瓷是软脆难加工的材料,机械加工容易导致表面产生划痕和破裂。采用主控振荡器的功率放大器(MOPA)脉冲光纤激光控制断裂切割钛酸锶陶瓷基片,通过实验得到了激光控制切割机理。首先用激光扫描去除材料,形成应力槽;随着扫描次数的增加,切槽深度增加;热应力达到该材料的断裂阈值,使裂纹沿应力槽扩展,直至完全断裂。该过程属于自适应裂片,无需后续裂片工艺。此外还发现在激光烧蚀材料过程中出现表面平坦化现象。通过选择合适的工艺参数,可以实现0.3mm厚钛酸锶陶瓷基片的成形切割。
【作者单位】： 广东工业大学机电工程学院;
【关键词】： 激光技术 激光控制断裂切割 光纤激光器 软脆材料 钛酸锶陶瓷
【基金】：国家自然科学基金(51575114;51275096) 广东省自然科学基金(S2013010014070) 广东省普通高校特色创新项目(2014KTSCX059)
【分类号】：TN249
【正文快照】： 1引言作为一种新型多功能电子陶瓷材料,钛酸锶陶瓷具有介电常数大、介电损耗低、热稳定性好、电绝缘性能好、禁带宽度大等优点,同时又具有优良的光催化活性、微波特性和温度稳定性[1-3]。钛酸锶陶瓷作为微电子元件的衬底被广泛地应用在电子、通讯、自动控制等领域[4]。然而,钛

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2 李运奎,陈述春,戴凤妹,干福熹;掺铬钛酸锶晶体的氧化还原诱导吸收及发光的退火效应和浓度效应[J];发光学报;1991年02期

3 范仰才，李景德，唐新桂，雷德铭;钛酸锶的还原工艺和晶粒性质[J];无机材料学报;1995年02期

4 范仰才;钛酸锶的还原工艺和晶粒性质[J];广东工学院学报;1995年04期

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本文编号：552187