氮化物外延生长在线监测技术

发布时间：2017-07-19 14:23

  本文关键词：氮化物外延生长在线监测技术

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【摘要】：金属有机化学气相沉积外延技术(MOCVD)是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术,是大规模生产第三代半导体光电子、微电子器件的重要方法,也是制备半导体异质结、超晶格、量子阱等低维结构的主要手段。第三代半导体材料的飞速发展对MOCVD设备提出了更高的要求,MOCVD在线监测技术作为控制生长过程的前提,面临更多的挑战。该文综合介绍和比较了当今各种MOCVD在线监测技术的发展情况,并对MOCVD在线监测技术中的关键技术——红外测温、生产信息、曲率测量、光致发光做出简要介绍和看法。
【作者单位】： 电子科技大学微电子与固体电子学院;北京智朗芯光科技有限公司;
【关键词】： 曲率测量 生长信息 红外测温 MOCVD在线监测技术 光致发光
【基金】：四川省科技计划(2014GZ0151,2016JQ0022) 中央高校基本科研业务费(ZYGX2013J115)
【分类号】：TN304.055
【正文快照】： 2014年,日本的三位科学家因为“发明高效蓝光LED,带来节能明亮的白色光源”共同获得诺贝尔物理学奖[1]。其中LED(light-emitting diode)的主要材料就是第三代半导体III族氮化物材料,包括氮化镓(Ga N)、氮化铟(In N)、氮化铝(Al N)及其三元和四元固溶体(Al Ga N、In Ga N、Al I

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