基于飞秒激光的表面微纳加工技术综述与展望

发布时间：2017-07-30 19:20

  本文关键词：基于飞秒激光的表面微纳加工技术综述与展望

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【摘要】：飞秒激光脉冲宽度超短、峰值功率超强,在表面微纳加工领域得到了广泛的关注和应用。简述了飞秒激光诞生至今的应用概况,然后依据不同的加工对象(金属、透明材料、聚合物)阐述了飞秒激光与其相互作用的机理,从激光烧蚀、双光子聚合加工、飞秒激光微纳加工系统3方面对飞秒激光表面微纳加工技术进行了综述,最后探讨了待解决问题并进行了展望。
【作者单位】： 装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室;
【关键词】： 飞秒激光 表面微纳加工 激光烧蚀 双光子聚合
【基金】：国家“973”计划项目(2011CB013403)
【分类号】：TN249
【正文快照】： 表面微纳加工技术是在材料、机械、电气和生物医学等基础上发展起来的前沿交叉技术,加工内容包括特征尺寸在1 nm~1 mm之间的微纳米器件、微纳米尺度的微结构和表面微纳织构等。目前,已有诸多技术如微注塑成型技术、高能束(电子束、CO2激光、等离子体等)刻蚀技术和电气化学微加

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本文编号：595797