基于空间光调制器的飞秒并行加工方法研究

发布时间：2017-08-01 23:01

  本文关键词：基于空间光调制器的飞秒并行加工方法研究

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【摘要】：针对飞秒激光微加工中能量利用率和加工效率低的问题,提出一种基于空间光调制器的飞秒并行加工方法。在讨论衍射光栅入射角与衍射角关系的基础上,分析了叠加多个衍射光栅产生多光束的原理,运用GS算法对目标多光束进行优化并计算出相应的相位全息图,将该全息图加载到空间光调制器中获得了多光束。采用脉宽100fs、波长800nm的飞秒激光,进行聚焦PMMA样品内部的并行加工实验,观察到PMMA上多点组合的"一"和"工"字型,得到了光束能量均匀的图形。实验结果论证了该方法对于多光束并行加工控制的有效性。
【作者单位】： 湖北工业大学机械工程学院;湖北工业大学理学院;
【关键词】： 激光加工 并行加工 空间光调制器 GS算法 多光束
【基金】：国家自然科学基金(11204071,51575164) 国家科技支撑计划(2015BAF20B03) 湖北省自然科学基金(2014CFB596) 湖北省科技支撑计划(2015BAA066)
【分类号】：TN761
【正文快照】： 引言激光加工是一种非接触加工方式,具有能量密度高、方向性好、高相干性、热影响区小等优点[1],在工业加工领域中备受青睐。连续和长脉冲激光器主要依靠聚焦产生的高温来烧蚀材料,热扩散范围大,在对一些特殊材料,例如橡胶、塑料等,仍会出现明显的烧蚀现象[2]。而且加工精度有

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本文编号：606532