大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究

发布时间：2017-08-04 08:12

  本文关键词：大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究

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【摘要】：为了满足大口径反射镜研磨阶段的面形检测需求,分析了激光跟踪仪测角误差的来源,提出了一种基于S多项式拟合的矫正测角误差的方法,该矫正方法能有效克服采样位置误差和随机误差带来的影响。针对不同频段测角误差,提出母线和米字格采样法,其中母线采样法对10%以内的标定实验随机误差有较好的抑制作用。矫正方法的可行性得以验证,从而为进一步实验提供了理论基础。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 光学设计 激光跟踪仪 角度误差补偿 大口径非球面镜 多项式拟合
【基金】：国家自然科学基金青年科学基金(61505205)
【分类号】：TH744.5
【正文快照】： 2中国科学院大学,北京100049非球面镜相对于球面镜,不仅能够降低系统的复杂程度,而且可以大幅提高系统性能,广泛应用于大型光学系统。随着光学系统对大视场、高分辨率以及宽覆盖需求的不断增长,光学成像系统的口径也在不断增加。大口径非球面镜作为关键的光学元件,制造工艺复

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本文编号：618488