一种用于静电保护的快速开启SCR器件

发布时间：2017-08-07 00:08

  本文关键词：一种用于静电保护的快速开启SCR器件

  更多相关文章： 静电泄放 SCR 横向基区变掺杂 内建电场 开启速度

【摘要】：提出了一种用于提高静电泄放(ESD)保护器件开启速度的SCR器件(VSCR)。VSCR采用了新型的横向基区变掺杂结构(VLBD),其开启速度主要由寄生p-n-p和n-p-n晶体管的基区渡越时间决定,使用VLBD结构能够减小寄生双极型晶体管的基区渡越时间,从而提高SCR器件的开启速度。实验结果证明,在不增加掩膜版数量和芯片面积的前提下,相比于传统均匀基区掺杂的MLSCR器件,采用VLBD结构的VSCR器件的开启速度能够提高12%。
【作者单位】： 电子科技大学通信与信息工程学院;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
【关键词】： 静电泄放 SCR 横向基区变掺杂 内建电场 开启速度
【基金】：四川省科技支撑资助项目(2016GZ0115) 中央高校基本科研业务费资助项目(ZYGX2015J035)
【分类号】：TN34
【正文快照】： 1引言晶闸管(SCR)可以在最小的版图面积下实现最高的ESD鲁棒性,是一种非常有效的ESD保护器件[1]。同时,SCR存在一些缺点,如较高的触发电压和较低的开启速度等。随着工艺的不断进步,器件的栅氧化层厚度不断减小,击穿时间(tBD)以及击穿电荷(QBD)也会减小。为了有效地防止超薄栅

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前9条

1 冯焕银;何世恩;谭子美;;判断可控硅SCR故障的研究[J];西部探矿工程;2010年09期

2 简耀佳;张幽彤;李璞;;柴油机SCR电控单元设计研究[J];微计算机信息;2010年23期

3 方刚,崔学深,肖刚,沈金波,郭雁珩;单片机控制的SCR通用驱动装置及其典型应用[J];现代电力;2003年Z1期

4 金鹏,张生才,李树荣,赵毅强,姚素英;SCR器件在CMOS静电保护电路中的应用[J];微电子学;2004年01期

5 何伯方;〔Scr〕计算机病毒的分析与清除[J];浙江农村技术师专学报;1996年04期

6 J.B.Plan ,S.J.Jorna ,Y.T.Chan ,章昆;SCR直流电机位置或速度驱动装置的微处理机控制[J];国外自动化;1981年06期

7 王昌松;边敦新;孟祥志;王红蕾;;基于组态软件的SCR尿素泵测试系统的设计[J];工业控制计算机;2013年08期

8 戴沁芸,胡捍英;源控制速率机制(SCR)[J];电声技术;2002年06期

9 ;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库 前8条

1 周垣平;张军民;;浅议在烤烟生产中推广SCR调控肥的示范效果[A];山西省烟草学会2006年学术交流获奖论文集[C];2006年

2 周垣平;张军民;;浅议在烤烟生产中推广SCR调控肥的示范效果[A];华北、东北地区2007年度烟草学术交流研讨会论文集[C];2007年

3 刘晓敏;;烟气脱硝SCR装置喷氨优化研究[A];全国第八届电站锅炉专业技术交流年会论文集[C];2013年

4 赵富;于文海;马文林;高甲午;逯岩辉;赵善祥;杨向文;冯杰;王颖洁;边静;;质疑最佳电火花率除尘法的理论基础——解析传统SCR工频电源的最佳电火花率控制策略[A];第十三届中国电除尘学术会议论文集[C];2009年

5 雷达;吴其荣;李朝贵;潘茂华;;SCR烟气脱硝化学动力学模拟研究[A];重庆市电机工程学会2010年学术会议论文集[C];2010年

6 王昕;;关于景德镇电厂SCR仓泵结焦问题浅析[A];第四届火电行业化学(环保)专业技术交流会论文集[C];2013年

7 李涛;慕锴;张剑;;SCR转子调速器的应用及节能技术分析[A];全国火电大机组（300MW级）竞赛第三十五届年会论文集[C];2006年

8 刘建禹;菅盘铭;;SCR复合氧化物脱硝催化剂的制备及表征[A];第十届全国工业催化技术及应用年会论文集[C];2013年

中国重要报纸全文数据库 前3条

1 王光睿 李积轩;全球首台低速机SCR装置进入实船试验阶段[N];中国船舶报;2011年

2 吴小春　记者 陈铁;SCR使国产重载车尾气排放达到国际标准[N];中国质量报;2008年

3 成都 新力;可控硅SCR稳压电源[N];电子报;2004年

中国博士学位论文全文数据库 前2条

1 周昊;SCR低温脱硝催化剂的制备与研究[D];中国矿业大学(北京);2016年

2 王懿;基于触地点管土相互作用的深水SCR安装力学模型研究[D];大连理工大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 惠大可;船舶柴油机SCR反应器结构参数优化研究[D];集美大学;2015年

2 宋彦美;回转式空气预热器作为SCR反应器的数值模拟研究[D];山东大学;2015年

3 郝俊利;锅炉后建SCR研究及设备工程风险管理[D];华北电力大学;2015年

4 顾晓婷;SCR装置对锅炉烟风参数影响研究[D];上海交通大学;2014年

5 李迎;采用多次喷射结合SCR实现柴油机低排放的CFD研究[D];河北工业大学;2015年

6 徐秀林;SCR蜂窝状脱硝催化剂磨损研究[D];浙江大学;2015年

7 陈志刚;柴油发动机尿素SCR控制系统设计方法研究[D];吉林大学;2016年

8 朱丽丽;基于碳纳米管的低温SCR反应机理的分子模拟研究[D];华南理工大学;2012年

9 高兴;燃煤锅炉SCR装置物模试验与碱液吸收NO_X反应性能研究[D];清华大学;2014年

10 代圣;柴油车SCR净化器结构优化研究[D];江南大学;2012年

，

本文编号：632005