基于Photo-CELIV测量载流子迁移率实验系统

发布时间：2017-08-07 14:00

本文关键词：基于Photo-CELIV测量载流子迁移率实验系统

【摘要】：搭建了一套基于Photo-CELIV测量载流子迁移率的实验系统。采用Nd~(3+):YAG脉冲激光器作为诱导光源,在1~20 Hz的工作频率下,实验系统可输出波长为532 nm、脉宽为10 ns的激光脉冲,其能量在0.1~1 mJ范围内可调,光斑直径小于2 mm,激光器持续工作5 h后的能量不稳定度为±8%。该研究为半导体材料载流子迁移率的测量提供了一定的参考。
【作者单位】：长春理工大学机电工程学院;
【关键词】： 激光技术 固体激光器 光诱导线性增压载流子提取法 载流子迁移率
【基金】：国家863计划(2012AAXXX090)
【分类号】：TN248;TN304
【正文快照】： l引言随着半导体材料器件开发与应用的飞速发展,人们越来越清晰地认识到,半导体材料中载流子迁移率是影响半导体器件性能的重要因素之一[15]。载流子迁移率主要是用来衡量半导体材料中载流子的传输能力[68],它直接反映了载流子在外部物理场作用下的动力学特征[91°]。因此,

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