基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术

发布时间：2017-08-12 07:22

  本文关键词：基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术

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【摘要】：Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测,并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及实验架构。数值仿真与实验结果表明,Ptychography技术用于波像差检测时检测标记的通光率需要在45%~80%范围内;增加标记图案的复杂性并在计算过程中增加配准环节可提高收敛速度与检测精度;波像差检测精度在10~(-3)λ以内。将Ptychography技术应用于极紫外光刻投影物镜波像差检测是可行的。
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 测量 极紫外光刻 波像差检测 Ptychography PIE 相位恢复 投影物镜
【基金】：国家自然科学基金重点项目(61205102,61275207,61405210,61474129) 中国科学院青年创新促进会项目
【分类号】：TN305.7;O436.1
【正文快照】： 投影物镜系统是光刻机的核心分系统之一,对投影物镜系统的波像差进行高精度检测和控制是实现高质量光刻成像的必要条件[1]。当前最具代表性并已成熟应用于主流光刻机中的波像差检测技术是Shack-Hartmann传感器和剪切干涉仪[2-9]。这类技术的实现方法是将特定的光学元件(准直透

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本文编号：660403