柔性声表面波器件的波模式分析

发布时间：2017-08-15 18:28

  本文关键词：柔性声表面波器件的波模式分析

  更多相关文章： 声表面波器件 柔性衬底 聚酰亚胺衬底 压电薄膜 波模式 S兰姆波

【摘要】：用反应磁控溅射法在柔性聚酰亚胺衬底上沉积了ZnO压电薄膜,并制备了基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波(SAW)器件。制备的柔性SAW器件显示了良好的谐振性能,而且展现出两个波模式:模式0和模式1。当波长为32μm,ZnO厚度为4μm时,SAW器件的模式0和模式1的谐振频率分别为34.4MHz和158.5MHz,对应声速为1 100.8m/s和5 072m/s。模式0为已知的瑞利波,模式1为新的高频模式。沉积了不同厚度的ZnO薄膜制备柔性SAW器件,进一步分析了薄膜厚度对SAW器件和模式1的影响。分析认为该高频模式不是传统硬质衬底上SAW器件产生的Sezawa波,而是S_0兰姆波,并且是有衬底情况下的S_0兰姆波。文中还采用Comsol仿真分析了新的高频模式1的粒子振动位移,结果和S_0兰姆波粒子振动位移一致,从而验证了其为广义兰姆波的正确性。
【作者单位】： 国防科学技术大学机电工程与自动化学院;福建工程学院信息科学与工程学院;浙江大学信息与电子工程学院;南昌陆军学院;
【关键词】： 声表面波器件 柔性衬底 聚酰亚胺衬底 压电薄膜 波模式 S兰姆波
【基金】：国家自然科学基金资助项目(No.61204124) 中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(No.2014QNA5002)
【分类号】：TN65
【正文快照】： (1.College of Mechatronic EngineeringAutomation,National University of Defense Technology,Changsha410073,China;2.College of Information ScienceEngineering,Fujian University of Technology,Fuzhou350108,China;3.College of Information ScienceElectron Engi

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本文编号：679672