单晶硅表面金字塔微结构反射特性的研究

发布时间：2017-08-22 22:04

  本文关键词：单晶硅表面金字塔微结构反射特性的研究

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【摘要】：通过对化学腐蚀法制备的单晶硅表面微结构进行分析,建立了一种金字塔微结构的数学模型,采用时域有限差分法(FDTD)数值计算了波长在300~1 000nm范围内微结构表面反射率随波长的变化规律,并将计算结果与实验测量结果进行了比较、分析和解释。在此基础上,针对不同实验条件下所形成的金字塔微结构差异,数值计算了几种不同参数金字塔结构表面的反射率随波长的变化规律。研究表明,反射率随金字塔的占空比和倾角的增大而减小,而金字塔尺寸变化对反射率的影响较小。当金字塔的结构参数为底边长2μm、占空比1、倾角约60°时减反效果较好,平均反射率仅为6.28%。
【作者单位】： 南京航空航天大学理学院;
【关键词】： 衍射 抗反射 时域有限差分法 金字塔 单晶硅
【基金】：国家自然科学基金项目(51577091)
【分类号】：TN304.12
【正文快照】： 0引言单晶硅太阳电池因其稳定性好、转换效率较高以及日趋成熟的工艺生产技术而在光伏市场一直占据主导地位。由于硅的折射率较大,其表面对太阳光的反射率高,会严重降低电池转换效率。为了消除这一不利现象,目前主要通过两种表面处理途径来降低硅材料表面对光的反射率[1-2],一

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1 ;金字塔的诠释[J];新电子;2001年01期

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本文编号：721273