具有2-空间缓冲模块的多组合设备的优化调度

发布时间：2017-09-05 23:03

  本文关键词：具有2-空间缓冲模块的多组合设备的优化调度

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【摘要】：随着半导体晶圆生产加工变得越来越复杂,多组合设备也越来越频繁的被采用.多组合设备的调度关键在于怎么协调好相邻机械手的操作.针对拥有2-空间缓冲模块的单臂多组合设备,同时它的瓶颈设备被假设为处于加工-边界,首先运用面向资源的Petri Net对系统进行建模,然后在分析系统调度特性的基础上提出了此多组合设备的周期时间一定可以达到下界,并给出了有效的调度算法.最后,用实例证明了该调度方法的可操作性.
【作者单位】： 广东工业大学机电工程学院;
【关键词】： 多组合设备 调度 面向资源 Petri Net
【基金】：国家自然科学基金(60974098) 高等学校博士点学科专项科研基金(2009442011002)~~
【分类号】：TN305
【正文快照】： i引言在半导体制造业中,组合设备被广泛的运用到晶圆加工中.作为一种可实现单晶圆制造技术的集成设备,它为半导体制造厂商提供了一个灵活的以及可重构并且有效的环境·它一般由4-6个加工模块(processmodule,PM),—台单臂或双臂机械手(handling robot,HR)和2个用于存储晶圆的装，

本文编号：800684