湿法刻蚀FI CD均一性的影响因素及提高刻蚀均一性的研究

发布时间：2017-09-06 18:30

  本文关键词：湿法刻蚀FI CD均一性的影响因素及提高刻蚀均一性的研究

  更多相关文章： TFT-LCD 湿法刻蚀 FI CD 均一性

【摘要】：随着高分辨率产品导入,TFT-LCD阵列段各项参数范围越来越小,工艺要求更为严格,为了更好地管控湿法刻蚀各项参数,本文以湿法刻蚀FI CD(Final Inspection Critical Dimension)均一性的影响因素及如何提高FI CD均一性为目的进行研究。首先,通过对湿法刻蚀设备参数(主要包括刻蚀液温度、流量、压力、浓度、Nozzle Sliding、Oscillation Speed、刻蚀时间等)进行试验,验证各项参数对FI CD均一性的影响。其次,对沉积工序、曝光工序以及产品设计等进行试验,获悉影响因素并进行改善。通过对湿法刻蚀设备自身参数的调整,如减少设备温度、流量、压力波动,使参数保持相对稳定状态,可有效改善湿法刻蚀FI CD均一性,FI CD的均一性可从1.0降低至0.5。通过对湿法刻蚀设备参数进行试验并做相应调整,湿法刻蚀FI CD均一性改善效果显著。
【作者单位】： 北京京东方光电科技有限公司;
【关键词】： TFT-LCD 湿法刻蚀 FI CD 均一性
【分类号】：TN305.7;TN873.93
【正文快照】： (Beijing BOE Optoelectronics Technology Co.,Ltd,Beijing100176,China)1引言在TFT-LCD阵列制作工艺中,湿法刻蚀工艺因所使用的刻蚀液价格低廉,各向同性等优点被广泛应用。目前,在TFT-LCD行业中,湿法刻蚀主要使用的刻蚀液有AL刻蚀液和ITO刻蚀液。刻蚀液的作用是将适当浓度的

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 孙大伟;陈波;;单片湿法刻蚀机供酸管路系统设计[J];电子工业专用设备;2009年10期

2 张安元;吴志明;赵国栋;姜晶;郭振宇;;利用湿法刻蚀的方式制备黑硅[J];现代电子技术;2011年18期

3 张明明;贾泽;尹聪;王林凯;任天令;;集成工艺中湿法刻蚀对锆钛酸铅性能的影响(英文)[J];纳米技术与精密工程;2011年04期

4 段成龙;舒福璋;宋伟峰;关宏武;;湿法刻蚀及其均匀性技术探讨[J];清洗世界;2012年11期

5 谢海波,傅新,刘玲,杨华勇,徐东;基于玻璃湿法刻蚀的微流控器件加工工艺研究[J];机械工程学报;2003年11期

6 韦书领;应明炯;;InSb晶片湿法化学刻蚀研究[J];激光与红外;2008年09期

7 张凯;顾豪爽;胡光;叶芸;吴雯;刘婵;;MEMS中硅的深度湿法刻蚀研究[J];湖北大学学报(自然科学版);2007年03期

8 唐彬;袁明权;彭勃;佐藤一雄;陈颖慧;;单晶硅各向异性湿法刻蚀的研究进展[J];微纳电子技术;2013年05期

9 孙洋,钱可元,韩彦军,蔡鹏飞,罗毅,雷建都,童爱军;硅基微结构制作及其在微分析芯片上的应用[J];半导体光电;2004年06期

10 张正荣;詹扬;汪辉;;一种多晶硅掩膜层湿法去除的改进研究[J];半导体技术;2007年12期

中国重要会议论文全文数据库 前3条

1 周礼书;敬守勇;杨李茗;许乔;;衍射光学元件湿法刻蚀技术[A];中国工程物理研究院科技年报（2001）[C];2001年

2 戴敏;刘刚;王从香;;厚层聚酰亚胺介质层制备及湿法刻蚀工艺研究[A];第十四届全国混合集成电路学术会议论文集[C];2005年

3 黄腾超;沈亦兵;陈海星;娄迪;侯西云;;应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 张安元;湿法刻蚀制备黑硅及性能研究[D];电子科技大学;2011年

2 孙洋;基于硅材料与玻璃的微分析芯片制作技术的研究[D];清华大学;2004年

3 郭正宇;黑硅材料的制备及特性研究[D];电子科技大学;2010年

4 王春伟;湿法刻蚀均匀性的技术研究[D];复旦大学;2012年

5 李玉胜;湿法刻蚀与清洗中晶圆缺陷问题的研究[D];天津大学;2013年

6 高延军;硅微通道列阵电化学微加工技术研究[D];长春理工大学;2002年

7 史爽;双栅氧氧化前湿法刻蚀、清洗工艺对薄氧化层CMOS器件性能的影响及其优化[D];复旦大学;2012年

8 张正荣;一种多晶硅掩膜层湿法去除工艺的改进研究[D];上海交通大学;2007年

9 郭浩;Mg掺杂GaN薄膜退火性质及GaN薄膜湿法刻蚀的研究[D];大连理工大学;2012年

10 刘兴刚;一种新型集成电路铜互连方法的研究[D];上海交通大学;2008年

，

本文编号：804751