基于改进匈牙利算法和模糊逻辑控制的Interbay物料运输系统调度方法

发布时间：2017-09-08 01:16

  本文关键词：基于改进匈牙利算法和模糊逻辑控制的Interbay物料运输系统调度方法

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【摘要】：为了满足晶圆制造Interbay物料运输调度的多目标和实时性要求,提出了一种基于改进匈牙利算法和模糊逻辑控制的智能调度方法.首先对晶圆工件的运输时间、等待时间、交货期以及加工特性这4个参数进行加权求和,建立晶圆工件的多目标运输成本模型;然后基于模糊逻辑控制的权重参数调节模型对各个权重参数进行动态调整,进而实时地计算晶圆工件的运输成本;最后以最小化运输成本为目标,采用改进匈牙利算法求取晶圆工件和运输小车的最优匹配方案.仿真实验结果表明,与传统的几种单一启发式规则比较,提出的调度方法能够有效减少晶圆工件的平均搬运时间和平均加工周期,具有较好的综合调度性能.
【作者单位】： 上海交通大学机械与动力工程学院;河南工业大学机电工程学院;
【关键词】： Interbay物料运输系统 调度 多目标 模糊逻辑 匈牙利算法
【基金】：国家自然科学基金(51275307) 高等学校博士学科点专项科研基金(20120073110036)资助项目
【分类号】：TN305;TH22
【正文快照】： 在300mm晶圆制造系统中,通常有数千卡(晶圆以“卡”为单位进行搬运,每个晶圆卡包括25片晶圆)晶圆在制品,每卡晶圆需要被搬运上千次才能完成全部工序[1].同时,由于晶圆尺寸和重量的不断增大以及对洁净加工环境的要求,Interbay物料运输系统已经成为300mm晶圆制造车间的重要组成，

本文编号：811015