伺服控制油压技术应用于半导体塑封压机

发布时间：2017-09-08 10:51

  本文关键词：伺服控制油压技术应用于半导体塑封压机

  更多相关文章： 伺服控制 双闭环 高精度 节能

【摘要】：早期半导体塑封压机均是采用异步电机和定量泵组合,通过比例阀控制压力、流量输出,发展中期塑封压机采用过变频技术,但是控制精度均未得到提高,现在采用伺服控制液压技术,直接控制伺服电机输出,采用压力和电机速度双反馈,提升控制输出精度。
【作者单位】： 铜陵富仕三佳机器有限公司技术部;安徽中智光源科技有限公司;
【关键词】： 伺服控制 双闭环 高精度 节能
【分类号】：TN305
【正文快照】： 早期的半导体封装设备都是采用异步电机和定量泵的组合,通过液压比例阀控制压力和流量输出,随着伺服电机的功率增大,逐步的满足了目前大功率的使用需求,控制器精度也不断的提高,中期的变频技术也逐渐被伺服控制油压技术替代,目前使用的伺服控制油压技术,主要解决了客户降低能

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前9条

1 张春林;;外腔倍频伺服控制系统的研究[J];激光与红外;2007年11期

2 孙番典,刘俊刁,熊建文,李庆春;一组高精度的半导体激光二极管伺服控制电路[J];惠州大学学报(社会科学版);2001年04期

3 王勇;余成;;高精度三色曝光机的伺服控制研究[J];东莞理工学院学报;2006年03期

4 汪德才,李从心;激光快速成型机力矩伺服控制系统的构造及其控制器设计[J];机床与液压;2002年05期

5 王立伟;杨洪;董砚;王睿;;冷轧薄板激光焊机激光梁伺服控制的实现[J];微电机;2012年04期

6 陈刚;王洪诚;王钰涵;许瑾;;基于FPGA的自动相机聚焦电机伺服控制系统集成电路(IC)设计与实现[J];微电机;2012年07期

7 廖洪波;朱文亮;王永宏;范大鹏;;光电伺服控制软件调试工具顶层框架设计与应用[J];航空兵器;2014年01期

8 ;高性能IRMCK201型可配置数字AC伺服控制IC[J];电子元器件应用;2005年04期

9 ;[J];;年期

，

本文编号：813602