光学元件改性处理对激光损伤阈值的影响

发布时间：2017-09-11 05:32

  本文关键词：光学元件改性处理对激光损伤阈值的影响

  更多相关文章： 熔石英 光学元件 激光损伤阈值 化学改性 刻蚀速率 表面粗糙度 机械特性

【摘要】：针对355nm激光作用于熔石英光学元件后其损伤阈值容易变差的问题,提出使用1.7%纯HF溶液和0.4%HF与1.2%NH4F混合的BOE溶液对样品进行处理来提高它们的激光诱导损伤阈值(LIDT)。在相同的条件下将熔石英光学元件浸没到上述两种不同的刻蚀溶液中进行处理,通过测量刻蚀过程中元件重量变化来计算刻蚀速率,利用Zygo轮廓仪测试元件表面粗糙度,然后对355nm激光照射下熔石英元件的损伤阈值情况进行研究。损伤测试表明,LIDT与元件的材料去除深度有关系,用两种刻蚀液刻蚀去除一定深度后,LIDT均有增加,但是进一步去除会显著地降低元件的LIDT。在处理过程中,这两种刻蚀液的去除速率都很稳定,分别为85.9nm/min和58.6nm/min左右。另外,元件表面的粗糙度会随着刻蚀时间的增加而变大。在刻蚀过程中还通过纳米技术测量了熔石英元件表面的硬度及杨氏系数,不过没有证据表明其与激光诱导损伤有明确的关系。
【作者单位】： 成都精密光学工程研究中心;
【关键词】： 熔石英 光学元件 激光损伤阈值 化学改性 刻蚀速率 表面粗糙度 机械特性
【基金】：国家自然科学基金资助项目(No.51505444) 中国物理工程研究院科学技术发展基金资助项目(No.2015B0203032);中国物理工程研究院超精密加工重点实验室科研基金资助项目(No.K984-15-JCZ)
【分类号】：TN249
【正文快照】： 1引言熔石英光学元件的抗激光损伤能力在高功率激光系统是一项重要的光学性能。当熔石英受到355nm激光照射,其损伤阈值很容易变差,限制了光学系统的使用寿命和性能。因此,提高熔石英激光诱导损伤阈值来增加高紫外能量下光学系统的使用寿命和性能是成为重要的研究课题[1,2]。缓

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 温忠义;结构对氧化物膜层激光损伤阈值的影响[J];光机电信息;1997年08期

2 蔡卫刚;;激光损伤阈值测试系统中光斑有效面积的测定[J];中国科技信息;2011年19期

3 王聪娟;晋云霞;王英剑;邵建达;范正修;;离子束辅助技术获得高激光损伤阈值的增透膜[J];中国激光;2006年05期

4 池存;;氧化物薄膜吸收的热电测量及其与激光损伤阈值的关系[J];兵器激光;1983年02期

5 徐均琪;樊慧庆;刘卫国;苏俊宏;;类金刚石薄膜的激光损伤特性及工艺优化[J];光电工程;2008年12期

6 胡建平;HfO_2/SiO_2光学薄膜激光损伤阈值的测量[J];光电子·激光;2002年04期

7 朱耀南;;光学薄膜激光损伤阈值测试方法的介绍和讨论[J];激光技术;2006年05期

8 徐建程;胡建平;许乔;;基于分数泰伯效应的激光损伤阈值测量[J];强激光与粒子束;2007年12期

9 胡海洋,范正修,刘晔,赵强,范瑞瑛,黄日成;杂质对光学薄膜激光损伤阈值的影响[J];中国激光;1999年06期

10 袁宏韬;张贵彦;阚珊珊;;沉积方式对HfO_2薄膜激光损伤阈值的影响[J];华中科技大学学报(自然科学版);2007年S1期

中国重要会议论文全文数据库 前9条

1 王珊;沈军;吴广明;徐翔;周斌;倪星元;;制备条件对纳米结构ZrO_2薄膜抗激光损伤特性的影响[A];第八届全国核靶技术学术交流会论文摘要集[C];2004年

2 胡建平;陈松林;赵春茁;马平;许乔;;光学薄膜的激光损伤阈值测量[A];提高全民科学素质、建设创新型国家——2006中国科协年会论文集（下册）[C];2006年

3 师薇;杨利红;苏俊宏;徐均琪;王鸿;;激光预辐照提高TiO2薄膜损伤阈值的研究[A];2011西部光子学学术会议论文摘要集[C];2011年

4 沈军;罗爱云;王生钊;欧阳玲;谢志勇;朱玉梅;;HfO_2高激光损伤阈值薄膜的制备及特性研究[A];中国硅酸盐学会特种玻璃分会第三届全国特种玻璃会议论文集[C];2007年

5 胡建平;邱服民;陈梅;付雄鹰;马平;;神光Ⅲ原型装置光学元件激光损伤阈值测量[A];中国工程物理研究院科技年报（2000）[C];2000年

6 朱耀南;;光学薄膜激光损伤阈值测试方法的介绍和讨论[A];江苏、山东、河南、江西、黑龙江五省光学（激光）联合学术'05年会论文集[C];2005年

7 陈建荣;;磷酸氧钛铷晶体的电光性能[A];第十六届全国晶体生长与材料学术会议论文集-03激光和非线性光学晶体[C];2012年

8 孙绍涛;王正平;许心光;;退火对DKDP晶体损伤作用研究[A];中国晶体学会第四届全国会员代表大会暨学术会议学术论文摘要集[C];2008年

9 黄祖鑫;蒋晓东;任寰;吕海兵;张磊;何钱军;彭勇;胡晓阳;;单层溶胶-凝胶化学膜的损伤机理[A];第十七届全国激光学术会议论文集[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库 前2条

1 于爱芳;LBO晶体表面高激光损伤阈值增透膜的研制[D];中国科学院研究生院（理化技术研究所）;2007年

2 李明全;KDP晶体超精密飞切微纳形貌对激光损伤阈值的影响研究[D];哈尔滨工业大学;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 杭良毅;用于多波长激光损伤测试仪的滤光片设计与制备[D];西安工业大学;2016年

2 李朝霞;ZrO_2化学膜与物理膜损伤机理的对比研究[D];电子科技大学;2010年

3 王毕艺;溶胶—凝胶技术制备ZrO_2/SiO_2多层高反膜的研究[D];电子科技大学;2008年

4 姜伟;KDP晶体微纳表面小尺度波纹对其激光损伤阈值的影响[D];哈尔滨工业大学;2009年

5 章春来;SiO_2/ZrO_2化学膜膜间渗透与激光辐照损伤的研究[D];电子科技大学;2009年

6 邹逢;红外激光防护薄膜的设计与制备[D];西安工业大学;2013年

7 何长涛;激光损伤阈值测试中的图像处理技术[D];四川大学;2007年

8 陈松林;ZrO_2薄膜生长及其工艺对微结构的影响[D];四川大学;2004年

9 陈银凤;类金刚石薄膜强激光作用的特性研究[D];西安工业大学;2012年

10 王涛;HfO_2光学薄膜激光预处理及其机理研究[D];西安工业大学;2014年

，

本文编号：828919