硅晶体线锯切削液的应用与发展

发布时间：2017-09-12 17:30

  本文关键词：硅晶体线锯切削液的应用与发展

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【摘要】：切削液是硅晶体线锯切割过程中必不可少的附材,切削液组分随切割方式的不同而发生变化来满足对线锯切割的需求。本文对硅晶体切削液的分类及近年来切削液组分的研究状况进行了综述,分析了黏度、表面张力、p H值对切削液性能的影响,并预测了未来切削液的发展趋势。
【作者单位】： 天津工业大学环境与化学工程学院;
【关键词】： 切削液 硅晶体 线锯切割 性能
【分类号】：TN305.1
【正文快照】： 0 引言 硅片是光伏发电产业中最基础最重要的原材料,约90%的太阳电池板都要使用到硅片[1]。 在硅片加工过程中,硅锭的切片是非常重要的一个环节。在这道工序中,硅片的晶向、厚度、斜度、翘曲度都被确定下来;同时,由于机械作用,这一工序也是造成损伤、刀痕、应力,以及因应力

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1 刘玉岭,檀柏梅,郝国强,郝美功;硅的切削液的分析研究[J];电子器件;2001年02期

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本文编号：838566