基于波面面形的滤波计算

发布时间：2017-09-13 09:29

  本文关键词：基于波面面形的滤波计算

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【摘要】：为提高光学干涉测量的精度,研究了用来消除干涉条纹图噪声的滤波算法。讨论了不同波面和不同干涉仪噪声下不同滤波方法的滤波效果。考虑干涉仪噪声对条纹图的影响与检测中的不同波面情况,基于泽尼克多项式原理用matlab仿真法建立了离焦、像散、彗差、球差4种不同的干涉条纹图,计算了滤波后不同波面面形的PV值和GRMS值差别的大小。结果表明:同种噪声与滤波器情况下,在离焦、像散、彗差、球差4种面型中,滤波后球差波面的PV差值最大,高达0.11λ,与在乘性噪声下其它波面的最高PV值0.08λ相比,滤波效果较差;滤波后像散波面的PV差值最小,除乘性噪声中值滤波情况外,PV差值均在0.05λ以下,最低达0.01λ,滤波效果较好。此外,彗差波面滤波情况要略优于离焦波面。滤波器中,低通滤波稳定性高,PV差值局限于0.01λ~0.04λ,滤波效果相对好;而空域滤波后波面的PV差值最高达0.09λ,但噪声针对性更好。
【作者单位】： 武汉理工大学材料科学与工程学院;中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室;
【关键词】： 干涉测量 干涉条纹图 波面面形 滤波方式
【基金】：国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.11602280)
【分类号】：TP391.41;TN713
【正文快照】： 1引言光学干涉测量是一种集光电探测、计算机技术和图像处理为一体的测量手段。光学干涉测量技术探测被测物表面特征的主要过程包括:利用光电探测器读取光强信息、利用干涉条纹图表征被测表面形貌信息、通过干涉条纹图的解包获取形貌信息。在测量过程中会不可避免地引入振动和

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本文编号：842870