355nm脉冲激光清洗溶胶-凝胶膜面颗粒污染

发布时间：2017-09-15 21:15

  本文关键词：355nm脉冲激光清洗溶胶-凝胶膜面颗粒污染

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【摘要】：在强激光系统中,光学元件表面的颗粒污染极大地限制了元件的使用寿命.本文在355 nm纳秒脉冲激光入射下,采用激光等离子体冲击波光栅式扫描技术,清洗了溶胶-凝胶Si O2薄膜表面的石英颗粒污染.当瞄准距d取为0.5~1.5 mm时,膜面的清洗效率η达到90%以上.当d0.5 mm时,膜面易产生等离子体灼伤.当d接近3 mm时,清洗效果基本丧失.采用紫外-可见分光光度计、静滴接触角测量仪与原子力显微镜对样品进行测试.结果表明,冲击波清洗之后,元件透射峰能恢复到污染前的状态.由于冲击波对颗粒的碎裂作用,清洗后膜面均方根粗糙度由1.755 nm增大为2.681 nm,膜面与水的接触角由48°减为6°,其抗污染能力明显变差.
【作者单位】： 西南民族大学电气信息工程学院;西南民族大学药学院;
【关键词】： 激光清洗 等离子体冲击波 溶胶-凝胶 颗粒污染 高功率激光
【基金】：西南民族大学中央高校基本科研业务费(编号:2015NZYQN21);西南民族大学硕士点建设项目(编号:2016XWD-S0805)资助 四川省教育厅资助科研项目(编号:15ZA0394)
【分类号】：TN249
【正文快照】： 1引言 溶胶-凝胶Si O2薄膜由于制备成本低廉、抗激光损伤性能优良、镀膜工艺简洁、适宜于大口径元件镀制,因而被广泛应用于强激光系统作为减反射薄膜[1~4].溶胶-凝胶薄膜具有疏松多孔的纳米结构,孔内充满丰富的悬挂键,很容易吸纳各类污染物[2,5].颗粒污染由于散射、反射降低

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本文编号：858927