胶体微球单层薄膜的制备、表征及应用

发布时间：2017-09-19 16:25

  本文关键词：胶体微球单层薄膜的制备、表征及应用

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【摘要】：为使用大面积均匀分布的微球掩模制作纳米柱LED,对胶体微球单层薄膜的自组装技术进行了研究。采用旋涂法、滴定法和气液界面法,对2μm和455nm两种粒径的胶体微球进行自组装实验,并使用扫描电子显微镜进行观察和比较,分析了三种方法的优缺点。实验结果表明,旋涂法在制备过程中容易出现多层堆积现象;滴定法容易形成单层薄膜,但胶体微球较为稀疏;气液界面法可以实现较大面积的单层薄膜,胶体微球均匀分布,而且适用于各种基片,是一种简单有效的自组装方法。优选气液界面法,在GaN基LED外延片上制备了均匀分布的纳米柱结构,验证了这种方法用于纳米柱LED芯片制备的可行性。
【作者单位】： 华南理工大学广东省光电工程技术研究开发中心;广州现代产业技术研究院;
【关键词】： 胶体微球 自组装技术 气液界面法 纳米柱LED 微球掩膜
【基金】：863国家高技术研究发展计划(2014AA032609) 国家自然科学基金(61404050) 广东省重大科技专项(2014B010119002) 中央高校基本科研业务费专项资金(2015ZM131)资助项目
【分类号】：O484;TN312.8
【正文快照】： 1引言目前商品化的高亮度蓝、绿光LED都是在In-GaN/GaN材料上实现的。在外延片的多量子阱结构中,InGaN阱层与GaN垒层由于晶格失配和热膨胀失配存在较大的应变,从而降低了LED的内量子效率。为释放外延层的应变,可通过干法刻蚀将普通平面结构制作成纳米柱结构[1]。干法刻蚀工艺，

本文编号：882691