脉冲LD泵浦电光调Q深紫外激光器

发布时间：2017-09-22 17:01

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【摘要】：研制了千赫兹213 nm深紫外全固态激光器。激光器采用脉冲LD侧面泵浦方式和电光调Q技术,实现了10瓦级基频光的稳定输出。利用多次倍频技术,实现了稳定的213 nm深紫外激光输出。当LD泵浦电流为80 A时,213 nm激光输出的最大平均功率达到了151 m W,激光器重复频率为1 k Hz,激光脉冲宽度为10ns,功率不稳定度为3%。同时,对激光在非线性晶体中的偏振匹配和不同重复频率条件下的激光器运转特性进行了分析。
【作者单位】： 沈阳理工大学理学院;吉林大学口腔医学院;鞍山紫玉激光科技有限公司;
【关键词】： 深紫外 LD脉冲泵浦 全固态激光器
【基金】：国家自然科学基金(61378042) 辽宁省高校杰出青年学者成长计划(LJQ2015093) 辽宁省科技计划(2014220040) 沈阳市科技计划(F16-210-6-00) 沈阳理工大学激光与光信息辽宁省重点实验室开放基金资助项目
【分类号】：TN248.1
【正文快照】： 1引言深紫外激光以其波长短、光子能量高、可聚焦能力强等优点,在精密加工和光刻、高密度数据存储、激光医疗、环境监测、高端LIBS测量等领域都有重要的难以替代的应用[1-9]。通常的深紫外获得方法有两种:一是采用准分子激光器直接激发,二是通过多次倍频。前者通常使用类似Kr

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本文编号：901987