用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究

发布时间：2017-10-04 08:23

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【摘要】：248 nm的Kr F准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用。研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器,设计并完善激光器的机械结构,分析了激光器的均匀放电、预电离等关键技术。通过研究充电电压、工作气体配比和总的工作气体压力对输出激光能量和效率的影响,优化激光器的性能;并对光斑均匀性、光束发散角和能量稳定性进行了测试和计算。该准分子激光器的重复频率为1~50 Hz,最高输出效率达2.0%,单脉冲输出能量最高达360 m J,当工作电压不低于24 k V时,激光输出能量不稳定度小于1.8%。用该激光器作为光源采用静态相位掩模法在光纤内刻写布拉格光栅,并对刻写结果进行分析和讨论。
【作者单位】： 中国科学院安徽光学精密机械研究所;
【关键词】： 准分子激光器 气体配比 输出能量 输出效率 光纤布拉格光栅
【分类号】：TN248
【正文快照】： 0引言Kr F准分子激光器以其输出激光波长短、脉冲宽度窄、单脉冲能量高等优点成为制作光纤布拉格光栅(Fiber Bragg Grating,FBG)的有效刻蚀光源。近年来,随着光电子的快速发展,FBG凭借其高可靠性、低传输损耗和高信噪比的特点,在光纤通信(如:波分复用器、整流器、光纤色散补偿

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本文编号：969618