W波段MEMS腔体滤波器

发布时间：2017-10-06 23:14

  本文关键词：W波段MEMS腔体滤波器

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【摘要】：文章提出了一种基于MEMS技术的新型W波段滤波器。该滤波器采用MEMS硅微加工技术,在硅基上刻蚀形成四个水平互连的谐振腔。谐振腔之间引入直接耦合和交叉耦合,减小带内插损、提高带外抑制。此外,输入、输出采用共面波导结构,能更方便的同其他器件相连。采用HFSS仿真软件设计滤波器,仿真结果达到了预期的要求。
【作者单位】： 电子科技大学极高频复杂系统国防重点学科实验室;
【关键词】： MEMS W波段 谐振腔 耦合
【基金】：国家自然科学基金(G0501020161371054)
【分类号】：TN713
【正文快照】： 引言1现代信息与通信的蓬勃发展,对通道的选择性提出了更高要求,滤波器是微波和毫米波系统中重要的部件之一,影响着系统的性能。尤其是在频谱资源日趋紧张的今天,开发高频资源显得尤为重要。高频滤波器,尤其是毫米波滤波器正在成为研究的热点。在毫米波频段,传统的波导和同轴

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