浅谈常规扫描电子显微镜的使用

发布时间：2017-10-08 03:08

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【摘要】：对常规扫描电子显微镜的基本原理及其结构、荷电效应和像散对成像的影响和解决方法、样品要求和制备、观测条件的选择进行了较系统的论述。
【作者单位】： 北京印刷学院北京市印刷电子工程技术研究中心;
【关键词】： 扫描电子显微镜 样品制备 观测条件 荷电效应
【分类号】：TN16
【正文快照】： 1前言扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是,1有较高的放大倍数,30~30万倍之间连续可调;2有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;3试

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本文编号：991618