机械振荡下微结构表面沸腾换热性能实验研究

发布时间：2017-07-16 12:25

  本文关键词：机械振荡下微结构表面沸腾换热性能实验研究

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【摘要】：进行了柱状微结构表面在添加机械振荡条件下池沸腾换热性能的实验研究。通过干腐蚀技术在硅片表面加工出30μm×60μm、50μm×60μm的方柱微结构,硅片尺寸为10 mm×10 mm×0.5 mm。实验研究了四组芯片,分别为光滑、PF30-60正规、PF30-60交错及PF50-60交错,实验工质为无水乙醇,同时在芯片上方安装振荡装置以达到强化换热的目的。实验结果表明,机械振荡对沸腾换热有强化作用,且在单相对流阶段强化作用尤其显著,同时CHF有20%左右的提高,核态沸腾阶段换热系数有一定增强。另外,所有柱状微结构芯片换热效果都优于光滑芯片,主要归结于换热面积的增加。
【作者单位】： 西安交通大学多相流国家重点实验室;
【关键词】： 柱状微结构 振荡 池沸腾 强化换热
【基金】：国家自然科学基金资助项目(No.51225601)
【分类号】：TK124
【正文快照】： 0引言近年来,计算机和光电芯片一直朝着提高集成度、减小尺寸的趋势发展,“热障”问题因此日益严峻,芯片耗能和散热问题也凸现出来。沸腾换热是一种有效的换热途径,但对于一些高热流、小温差等高要求条件,还有待进一步研究。目前有效的强化沸腾换热途径主要是添加高效冷却工

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1 张元平;陈冰冰;张玮;;机械振荡和超声波对摆式反应器气液传质性能的影响[J];化学反应工程与工艺;2009年06期

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本文编号：548681