等离子体气相凝聚技术制备铜纳米团簇薄膜的沉积速率研究

发布时间：2017-10-26 06:23

  本文关键词：等离子体气相凝聚技术制备铜纳米团簇薄膜的沉积速率研究

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【摘要】：采用等离子体气相凝聚技术并结合差分抽气技术产生铜纳米团簇束流,然后在衬底上沉积铜纳米团簇薄膜,研究了溅射电流、氩气流量和结露区长度对其沉积速率的影响。利用X射线衍射仪和透射电子显微镜对薄膜微结构进行了表征。结果表明:保持其他参数不变的情况下,增加溅射电流和氩气流量,铜纳米团簇薄膜的沉积速率均呈现先增大后减小的趋势,而结露区长度对沉积速率的影响无明显规律,这主要归因于铜纳米团簇粒子的平均自由程变化。铜纳米团簇薄膜主要由粒径约为几纳米的团簇颗粒组成,其结晶程度较低。
【作者单位】： 西南科技大学极端条件物质特性实验室;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室;
【关键词】： 等离子体气相凝聚技术 差分抽气技术 铜纳米团簇薄膜 沉积速率
【基金】：国家自然科学基金资助项目(11375159) 中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2012B0302051)
【分类号】：TB383.2;TQ131.21
【正文快照】： 随着啁啾脉冲放大技术(CPA)[1]的应用,超短超强脉冲激光强度已超过百TW达到PW量级,可获得脉冲宽度为数十fs到数ps的超短超强脉冲激光。利用强激光与物质相互作用,开辟了新的强场物理研究领域。fs激光脉冲与物质相互作用会产生能量高达几百MeV的质子束、超热电子等粒子、高能X

【参考文献】

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本文编号：1097416